
في عملية الطباعة بالليثوغرافيا، فإن عمليات الخبز اللين والخبز الصلب ليست مجرد خطوات تقنية، بل هي التزامات يجب الالتزام بها. فأي تغير بدرجة 2 درجة مئوية في درجة حرارة المادة المستخدمة في الطباعة قد يؤدي إلى تغيير في الأبعاد الحرجة بمقدار نانومترات. كما أن وجود جسيم واحد ناتج عن التسخين قد يدمر رقاقة بحجم 300 مم. لذلك، صممنا نظام التسخين بالأشعة تحت الحمراء القابل للتكيف مع هذه الظروف.
ما يهم من الناحية التقنية
نستخدم مصادر ضوء من الأشعة تحت الحمراء في نظام قابل للتكيف، بحيث يتم التحكم في كثافة الطاقة في كل منطقة على حدة، بدلاً من توزيعها بشكل متساوٍ على سطح ساخن كبير. والنتيجة هي توحيد درجة الحرارة على مستوى الرقاقة بدقة ±0.1 درجة مئوية، وذلك باستخدام أجهزة قياس درجة الحرارة، بالإضافة إلى قياس الإشعاع الصادر من الرقاقة.
الاستجابة سريعة جداً، لذا لا يحدث أي تغييرات غير مرغوب فيها عند تغيير إعدادات العملية. كما أن الأجهزة مصممة لتعمل في بيئات خالية من الغبار، حيث أن الهيكل المغلق والمواد المستخدمة تقلل من انبعاث الغازات، ولا توجد أسلاك مكشوفة. كما أن تكوّن الجسيمات يظل منخفضاً، ويتم ضمان الدقة في العملية من خلال نظام التحكم الذي يعمل بشكل مستمر.
لماذا ينجح هذا النظام في الإنتاج
في عملية خبز المادة المستخدمة في الطباعة، يكون التحكم في درجة الحرارة ضرورياً لتحقيق الأهداف المطلوبة، كما أن النظافة ضرورية للحفاظ على عدد العيوب في الحدود المقبولة. يوفر لنا النظام المذكور كلا العنصرين.
كما أن سرعة استقرار درجة الحرارة تساعد في تقليل وقت التحضير، وتحافظ على استقرار الخط الإنتاجي. كما أن استخدام الطاقة يقل، لأن الأشعة تحت الحمراء تسخن الرقاقة مباشرة، دون التأثير على الأجزاء المحيطة بها. كما أن النظام مصمم للعمل على مدار 24 ساعة، والتصميم المعياري يسمح بتغيير الأجزاء دون التأثير على جدول الإنتاج.
التفاصيل العملية
يمكن دمج النظام مع الأنظمة القائمة من خلال واجهات ميكانيكية وكهربائية قياسية. لكن، يجب التأكد من توافق إعدادات التحكم مع كل نوع من أنواع المواد المستخدمة وحجم الرقاقات.
يتطلب الأمر فترة تكوين قصيرة لضبط إعدادات النظام وضمان السيطرة على العملية. بمجرد الانتهاء من ذلك، تظل العملية مستقرة، بدون أي تغييرات غير مرغوب فيها.