আপনার ক্লাস ১০০ ক্লিনরুমটিকে সত্যিই পরিষ্কার রাখা খুবই গুরুত্বপূর্ণ। যদি আপনি ক্লাস ১০০ ক্লিনরুম পরিচালনা করেন, তাহলে আপনি অবশ্যই এর গুরুত্ব জানেন। ভুল জায়গায় একটি ছোট্ট ধূলিকণাও থাকলেই আপনার সমস্ত সেমিকন্ডাক্টরগুলো নষ্ট হয়ে যাবে। সমস্যা হলো, বেশিরভাগ হিটিং এলিমেন্টগুলো আসলে ধূলি উৎপন্ন করে—গরম হওয়ার সাথে সাথেই এগুলো থেকে ক্ষুদ্র কণাগুলো নির্গত হয়।
আমরা এর সমাধান হিসেবে উচ্চ-বিশুদ্ধতার কোয়ার্টজ ইনফ্রারেড ল্যাম্প এবং টেফলন (PTFE) তার ব্যবহার করেছি।
উচ্চ-বিশুদ্ধতার কোয়ার্টজ ব্যবহারের কারণ
আমরা ল্যাম্পের কভার হিসেবে ফিউজড কোয়ার্টজ ব্যবহার করি। কেন? কারণ এটি তীব্র তাপপ্রভাব সহ্য করতে পারে; আর এটি কোনো অশুদ্ধি বায়ুতে ছড়ায় না। এই ল্যাম্পগুলো শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড বিকিরণ ব্যবহার করে। ফলে ওয়েফারের চারপাশের বায়ু গরম না হয়ে শক্তি সরাসরি সাবস্ট্রেটে পৌঁছায়। এতে পরিবেশ আরও পরিষ্কার থাকে।
কেন আমরা PTFE তার ব্যবহার করি?
সাধারণ PVC বা সিলিকন তারগুলো তাপকে সহ্য করতে পারে না। এগুলো পুড়ে যায় বা ভোলাটাইল অর্গানিক কম্পাউন্ড (VOCs) নির্গত করে; যা আপনার কাজকে নষ্ট করে দেয়। সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে এটা কোনো বিকল্প নয়। তাই আমরা টেফলন (PTFE) কোটেড তার ব্যবহার করি। এটি রাসায়নিকভাবে নির্জীব; তাই এটি তাপকে সহ্য করতে পারে। এটি ক্ষয়প্রাপ্ত হয় না, ধূলিকণা নির্গত করে না; ফলে আপনার ভ্যাকুয়াম বা ক্লিনরুমটি পরিষ্কার থাকে।
ইনস্টলেশনের জন্য কিছু টিপস
মনে রাখবেন, PTFE সিলিকনের তুলনায় শক্ততর। যদি আপনি এটিকে খুব শক্তভাবে বাঁকানোর চেষ্টা করেন, তাহলে এটি ক্ষতিগ্রস্ত হয়ে যাবে। তাই তারগুলোকে যথেষ্ট ফাঁক দিন। আর কুলিং সিস্টেমটিও ঠিকমতো কাজ করছে কিনা খেয়াল রাখুন। ইনফ্রারেড বিকিরণ খুবই তীব্র। কোয়ার্টজটি যদিও বিশুদ্ধ হয়, কিন্তু এর তাপপ্রবাহ খুবই তীব্র। তাই আপনার কুলিং সিস্টেমটি যথাযথ আকারের হওয়া দরকার। যদি এটি খুব ছোট হয়, তাহলে আপনার মাউন্টিং ব্র্যাকেটগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হয়ে যাবে। আরও খারাপ হলো, ল্যাম্পগুলো দ্রুতই নষ্ট হয়ে যাবে; কারণ এদের এন্ডপয়েন্টগুলো তাপকে সহ্য করতে পারে না।