Lithography ফ্লোরে, e-beam resist bake চলাকালীন 0.3°C তাপমাত্রার ড্রিফট নিয়ন্ত্রিত প্যাটার্নকে লাইনের প্রস্থের বিশৃঙ্খলায় পরিণত করতে পারে। আমরা আমাদের e-beam resist baking heater তৈরি করেছি যাতে সেই ড্রিফট শুরু হওয়ার আগেই বাধা দেয়া যায়—কারণ উৎপাদন ফলাফল ন্যানোমিটারে মাপা হয়, মতামতে নয়।
কি গুরুত্বপূর্ণ প্রযুক্তিগত দিক
আমরা শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড উপাদান চালাই, যার তাপীয় পথ কোয়ার্টজ ভিত্তিক, ফলে রেসপন্স দ্রুত এবং স্থির তাপমাত্রা অপরিবর্তিত থাকে। ওয়েফার-স্তরের সাম্যবাদিতার হার বেকিং পৃষ্ঠের সমগ্র এলাকায় ±0.1°C এ নিয়ন্ত্রিত, এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা লট থেকে লটে ±0.05°C এর মধ্যে। তাপমাত্রা বৃদ্ধির ধারা ডিজাইনের মাধ্যমে পুনরাবৃত্তিযোগ্য, ফলে আপনার সফট বেক এবং হার্ড বেক প্রোফাইলগুলি কিউ ব্যাক-টু-ব্যাক স্ট্যাকে থাকলেও স্থানচ্যুত হয় না। প্ল্যাটফর্মটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুম ব্যবহারের জন্য তৈরি, যেখানে অংশ এবং পৃষ্ঠগুলি এমনভাবে নির্বাচিত যাতে কণা উৎপাদন প্রায় শূন্যে থাকে। কার্যকরভাবে, এর ফলে সংক্রমণের কারণে রিজেক্ট কমে এবং ক্লিন সাইকেলগুলির মধ্যে দক্ষ কার্যঘণ্টা বৃদ্ধি পায়।
কেন এটি e-beam resist প্রসেসিং এ প্রযোজ্য
E-beam resist তাপীয় বাজেট এবং সময় নির্ধারণে সংবেদনশীল। এই হিটার বেকিং ধাপকে স্থিতিশীল রাখে, ফলে গুরুত্বপূর্ণ মাত্রা নিয়ন্ত্রণ কঠোর থাকে এবং রেজিস্টের আঠালোতা ওয়েফার জুড়ে পূর্ণতা বজায় রাখে। আপনার পুনরায় কাজের প্রয়োজনীয়তা কমে, যোগ্যতা প্রক্রিয়া দ্রুত হয় এবং প্রসেস উইন্ডো অপরিবর্তিত থাকে। লক্ষ্যবস্তু হিটিং এবং কার্যকর তাপীয় সংযুক্তির মাধ্যমে শক্তি ব্যবহার সংকুচিত হয়, ফলে পার্শ্ববর্তী স্টেজগুলিতে অপ্রয়োজনীয় অতিরিক্ত তাপ কমে। নির্ভরযোগ্যতা 24/7 ফ্যাব লাইফের জন্য ডিজাইন করা, যেখানে উপাদানগুলি ধারাবাহিক দায়িত্বের জন্য রেট করা এবং রক্ষণাবেক্ষণের জন্য দ্রুত সেবার প্রবেশাধিকার পরিকল্পিত, যাতে লাইনের বন্ধ হওয়ার প্রয়োজন না পড়ে।
আপনাকে যা পরিকল্পনা করতে হবে
ইনস্টলেশন মানে কেবল চেম্বারের ফুটপ্রিন্ট মেলানো এবং আপনার টুল ইন্টারফেসের সাথে সংযোগকারী সমন্বয় নিশ্চিত করা। যদি সংযুক্ত পৃষ্ঠগুলি সঠিকভাবে লাইন আপ না করে, তবে লিক পাথ এবং অস্থির তাপ সংযোগ সৃষ্টি হতে পারে। রেজিস্ট স্ট্যাকের জন্য বেক প্রোফাইল নিশ্চিত করতে একটি সংক্ষিপ্ত কমিশনিং রান আশা করতে হবে—রেজিস্টের রাসায়নিক গঠন পরিবর্তনশীল, এবং সবচেয়ে স্থিতিশীল ফলাফলটি উপাদানের জন্য রাম্প রেট ও সোক টাইম টিউন করে আসে। একবার এটি সেট হয়ে গেলে, সিস্টেম প্রায় হস্তক্ষেপ ছাড়াই চলবে, তবে দীর্ঘমেয়াদে সাম্যবাদিতা বজায় রাখতে নিয়মিত সেন্সর ক্যালিব্রেশন প্রয়োজন।