ফ্যাব ফ্লোরে, LPCVD চুল্লিতে থার্মাল ড্রিফট কখনোই হঠাৎ করে কোনো সমস্যা হিসেবে প্রকাশ পায় না। এটা ডিপোজিশন প্রোফাইলের আকারে প্রকাশ পায়; লিথোগ্রাফির...

লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, “সফট বেক” ও “হার্ড বেক” কেবলমাত্র কিছু ধাপ নয়; এগুলো হলো অবশ্যই মেনে চলতে হওয়া নিয়মগুলো। ফটোরেজিস্টের তাপমাত্রায় ২°C এর...