Jak zabránit katastrofě: Bezpečné sušení waferů MEMS
Realita je taková: sušení waferů senzorů MEMS po chemické čistě je podobné hraní s ohněm. Máme zde topné prvky umístěné přímo vedle par rozpouštědel, které – abychom to řekli upřímně – jsou výbušné. Nemůžeme prostě do této prostředí vložit běžnou infračervenou lampu a doufat v to nejlepší.
Proto se zaměřujeme na zabudování lampy do speciálního obalu. V podstatě vytváříme „pevnost“ kolem lampy, aby nemohla způsobit katastrofu.
Zabránění únikům
Abychom ty škodlivé plyny oddělili od elektrických kontaktů, umístíme infračervenou lampu do pouzdra vyrobeného ze speciálního skla nebo chemicky odolného křemene. Je to prostě fyzická bariéra. Poté uzavřeme konce pouzdra pomocí keramických nebo epoxových těsnění. Proč se vůbec obtěžovat? Protože pokud těsnění selže, páry dosáhnou napájených kontaktů. Jediný jiskra a máte opravdu špatný den. Většinu času trávíme tím, že se snažíme zabránit únikům.
Teplo, jiskry a kabely
Používáme technologii krátkovlnného infračerveného záření, protože je to efektivnější. Teplo je tak posíláno přímo na povrch waferu, místo aby se zahříval vzduch kolem něj. Tím zůstává teplota okolí pod bodem vznícení použitých čisticích prostředků.
Rovněž se neobtěžujeme s kabely. Používáme izolace z PTFE nebo PFA. Standardní PVC by se prostě roztavilo nebo by se poškodilo, čímž by se odhalily holé dráty. To je cesta, kterou rozhodně nechceme volit.
Jeden rychlý tip: ujistěte se, že váš systém odvodu vzduchu skutečně funguje. I s nejlepším obalem představují stagnující oblasti s rozpouštědly velké riziko. Udržujte vzduch v pohybu.
Udržení fungování
Nejlepší vlastnost tohoto obalu je to, že chrání vlákno lampy před chemickým opotřebením. To znamená, že vaše lampy vydrží déle. Používáme také zesílené konektory, protože systémy pro přepravu waferů mají tendenci vibrovat, a my nechceme, aby se věci uvolnily.
Tyto konektory jsou navrženy tak, aby se daly snadno nahradit. Ale je tu jeden problém: musíte pokaždé, když vyměníte lampu, zkontrolovat její těsnost. Pokud je v tom pouzdře trhlina, vaše bezpečnostní standardy jsou zničeny.
Musíme také dbát na výkon lampy. Vysoká teplota urychluje proces sušení – což je dobré pro rychlost práce – ale zároveň zvyšuje zátěž těsnění. Snažíme se najít správnou rovnováhu mezi rychlostí a bezpečností.