V oblasti litografie nejsou procesy měkkého a tvrdého zahřívání jen „kroky“ v procesu výroby. Jsou to závazky, které musíme dodržovat. Odchylka teploty fotoresistu o 2 °C může způsobit změnu kritické dimenze o několik nanometrů. Jediná částice uvolněná během zahřívání může zničit desku o velikosti 300 mm. Proto jsme vyvinuli modulární infračervené ohřívací zařízení, které odpovídá těmto požadavkům.
Co je z hlediska technologie důležité
Používáme emitory v blízkém infračerveném spektru v modulárním uspořádání. Díky tomu je hustota napětí řízena v jednotlivých zónách, nikoliv v celé ploše ohřívací desky. Výsledkem je rovnoměrnost teploty na úrovni desky v rozmezí ±0,1 °C během celého procesu. Tato hodnota je sledována pomocí termočlánků a ověřována s použitím senzorů s korekcí emisivity. Reakce zařízení je rychlá – takže při změně parametrů nedochází k nadměrnému zahřívání. Hardware je vhodný pro provoz v čistých prostorách až do třídy 1 – uzavřené pouzdro, materiály s nízkou emisí, žádné odhalené prvky. Množství částic zůstává nízké a opakovatelnost procesu je zaručena díky uzavřenému regulačnímu okruhu a pevné geometrii emitorů.
Proč to funguje v praxi
Během zahřívání fotoresistu se setkává teplotní rozsah s požadovanou kvalitou výrobku. Potřebujete přesnost teploty, abyste dosáhli požadovaných hodnot, a potřebujete také čistotu, abyste minimalizovali počet vad. Naše zařízení vám poskytuje obojí. Rychlé ustálení teploty zkracuje dobu přepínání a zajišťuje stabilitu procesu. Spotřeba energie je nižší, protože NIR světlo zahřívá přímo desku, nikoliv okolní konstrukce. Spolehlivost zařízení je zaručena pro 24/7 provoz. Modulární design umožňuje výměnu komponent bez nutnosti přerušování provozu.
Praktické detaily
Zařízení se integruje s existujícími systémy prostřednictvím standardních mechanických a elektrických rozhraní. Přesto je potřeba nastavit parametry zarovnání a emisivity pro každou vrstvu fotoresistu a velikost desky. Očekávejte krátkou dobu kalibrace potřebnou k nastavení parametrů a zajištění stabilního provozu. Jakmile je to hotovo, proces zůstává stabilní – žádné odchylky, žádné překvapení.