V prostoru určeném k vypalování polovodičových desek je právě tato fáze rozhodující pro udržení kontroly nad rozměry desek. I nepatrný posun o půl stupně může způsobit, že šířka pruhů na desce překročí povolené hodnoty, a vy tak ztratíte hodiny práce na expozici a leptání zbytečně. Proto jsou naše topné elementy navrženy tak, aby udržovaly stabilní teplotní podmínky po celou dobu provozu.
Co je důležité v souvislosti s tímto procesem
Používáme emitory krátkovlnného infračerveného záření s kvartzo-halogenovým zdrojem energie. Tento zdroj je nastaven tak, aby energie byla rychle a efektivně předána do vrstvy fotorezistoru. Díky tomu je dosaženo submilimetrové rovnosti teploty v oblasti vypalování a stabilita teploty na úrovni ±0,1 °C. Opakovatelnost procesu je zajištěna díky uzavřenému regulačnímu obvodu, senzorům s vysokým rozlišením a termické hmotnosti, která se rychle ustálí bez nadměrného nárůstu teploty. Tento systém funguje v čistých prostorách třídy 1–100 a během vypalování nevytváří žádné částice, takže počet vad zůstává na minimu – v podstatě nulový.
V litografii je teplota PEB klíčová pro chemické zesílení a konečnou šířku pruhů na desce. Tyto topné elementy rychle dosahují požadované teploty, udržují ji stabilní a poté se prediktabilně ochlazují. Díky tomu zůstávají parametry procesu konzistentní mezi jednotlivými sériemi výroby. Díky tomu lze zkrátit dobu vypalování bez ztráty výtěžnosti, spotřeba energie je nižší díky efektivnímu spojení infračerveného záření, a dochází k menšímu počtu neočekávaných poruch, protože emitory a ostatní komponenty jsou navrženy pro nepřetržitý provoz. Výsledkem je opakovatelná kontrola rozměrů desek a mnohem méně odchylek způsobených teplotními fluktuacemi.
Pokud to neplánujete správně, může dojít k problémům: instalace musí odpovídat geometrii stanice pro vypalování, rozhraní zařízení a uspořádání odvodů vzduchu. Existují sada pro modernizaci, ale tolerance při zarovnávání jsou velmi malé – jinak budete platit za nedostatečnou rovnost teploty.
Zařízení funguje nejlépe, když zrcadlivost komory a emisivita desky zůstávají stabilní. Pokud změníte povrchové vrstvy nebo nože používané při vypalování, změní se teplotní profil, což znamená nutnost rychlé kalibrace. Začněte s testováním pomocí vícepunktové mapy teploty, abyste určili výchozí hodnoty. Poté systém udrží teplotu na požadované úrovni.