V prostředí litografie víte, jak může i jemná odchylka teploty o pouhé 2 °C narušit rovnoměrnost povrchu desek a donutit je k další úpravě. Je...

Na lince wafru sedí pod halogenovými lampami a čeká na měkké vypálení, které nastaví profil fotorezistu. Odchylka 2°C v tomto vypalovacím okně může...