Verhindern Sie, dass ein defekter Lampenstrahl Ihre gesamte Produktion zerstört
In einer Anlage mit hohem Aufkommen ist das Ausfallen einer einzelnen Lampe nicht nur lästig – es ist ein Albtraum. Wenn ein Quarzrohr zerbricht, muss man nicht nur mit Stillstand kämpfen, sondern auch mit Glassplittern und metallischen Fasern, die überall im Reinraum verteilt sind. Plötzlich muss man nicht nur einen defekten Teil ersetzen, sondern auch ganze Chargen von Wafern entsorgen sowie den ganzen Raum reinigen.
Wir haben beschlossen, das zu ändern. Unsere Infrarotlampen sind so konzipiert, dass der Schmutz im Inneren des Rohres bleibt – somit berührt er die Wafer gar nicht erst.
Wie wir das Problem bekämpfen
Es beginnt mit den Materialien. Wir verwenden hochreinen synthetischen Quarz, der schnelles Heizen und Abkühlen aushält, ohne unter dem Druck zu splittern. Doch damit haben wir noch nicht aufgehört. Wir haben außerdem eine spezielle Hülle hinzugefügt – eine Hochtemperatur-Polymerbeschichtung. Stellen Sie sich das wie eine Art „Schutzschicht“ vor. Falls das Innere des Rohres versagt und das Rohr zerbricht, hält diese Beschichtung alles zusammen. Anstelle eines Chaosfelds entsteht somit eine kontrollierte Situation. Das macht die Arbeit im Büro viel einfacher.
Für hohe Belastungen konzipiert
Das Betreiben der Lampen bei maximaler Leistung ist extrem belastend. Die Belastung an den Verschlusspunkten ist der Punkt, an dem die meisten Lampen versagen. Um dem entgegenzuwirken, haben wir die Elektroden verstärkt und die Gaszusammensetzung angepasst, damit der innere Druck konstant bleibt. Dadurch werden die gefürchteten „Explosionen“ der Endkappen verhindert. Zudem halten wir die Durchmesserabweichungen des Rohres sehr gering – dadurch passt die Lampe perfekt in ihre Halterung, was die Vibrationen reduziert, die normalerweise zu frühzeitiger Verschleiß führen.
Der Preis für den Schutz
Der Nachteil ist jedoch, dass diese Schutzbeschichtungen einen kleinen Teil der Infrarotstrahlung blockieren. Es kann zu einem Rückgang der Strahlungstemperatur um 3–5 % kommen. In solchen Fällen müssen Sie möglicherweise die Leistung erhöhen oder die Aufwärmzeit verlängern, damit Ihr Prozess weiterhin reibungslos abläuft. Aber seien wir ehrlich: Ein paar zusätzliche Sekunden zum Erhitzen sind ein geringer Preis im Vergleich zu den Kosten für einen vollständigen Reinigungsprozess des Reinraums.
So starten Sie
Diese Lampen sind als einfache Ersatzteile für Ihre vorhandenen Geräte konzipiert. Überprüfen Sie einfach die Spannung und Leistung, verbinden Sie die Lampen mit dem Stromnetz – und überlassen Sie die weitere Kontrolle dem Schutzsystem.