در طبقه کارخانه، انحراف ۰.۳ درجه سانتیگراد در دمای پخت کافی است تا کنترل ابعاد بحرانی به هم بخورد و مقدار زیادی از کار ضایعات شود. وقتی نرم پخت و سخت پخت را اجرا میکنید، به امید نیاز ندارید—به تکرارپذیری نیاز دارید. به همین دلیل، ما لامپ مادون قرمز را با یک بازتابنده طلایی ساختیم تا با واقعیت فرآیند هماهنگ باشد.
آنچه زیر کاپوت اهمیت دارد
منبع، یک منتشرکننده مادون قرمز کوتاهامواج در کوارتز است که با یک بازتابنده آبکاریشده طلا جفت شده است تا انرژی را متمرکز نگه دارد و پراکندگی را کاهش دهد. در سراسر صفحه پخت، هدف ما یکنواختی دمایی در سطح ویفر در ±۰.۱ درجه سانتیگراد است و پایداری نقطه تنظیم در حین بارگیری در محدوده ±۰.۵ درجه سانتیگراد باقی میماند. تغییرات مرحلهای در کمتر از ۲ ثانیه پایدار میشوند، بنابراین دستور پخت شما دقیقاً همانطور اجرا میشود که نوشته شده است. خروجی بیش از ۵۰۰۰ ساعت پایدار میماند، با افت کمتر از ۵٪ در لومِن و دما. محفظه لامپ در محفظههای استاندارد نصب میشود و بلوک ترمینال با سیمکشی ابزارهای رایج مطابقت دارد.
چرا در تولید مقاوم است
در مسیرهای لیتوگرافی، لامپ پروفیلهای فوتورزیست را دقیق نگه میدارد که منجر به بهبود یکنواختی CD و کاهش بازکاری میشود. در بستهبندی، پخت کنترلشده با یک پروفیل حرارتی پاک ارائه میدهد که باعث خروج ترکیبات فرار زیرپرکننده نمیشود. بازتابنده طلایی حرارت پراکنده را از محیط اطراف دور میکند، بنابراین اپتیکها و حسگرهای مجاور در محدوده بودجه حرارتی خود باقی میمانند.
کلاس تمیزی اتاق تمیز ۱–۱۰۰ توسط مواد با خروج گاز پایین و ساختاری که ذرات را رها نمیکند، پشتیبانی میشود. مصرف انرژی کاهش مییابد چراکه حرارت به جایی که باید میرود، نه به گرمایش اضافی محفظه.
مواردی که هنگام نصب باید توجه کرد
به قطبیت و تراز بازتابنده توجه کنید—عدم تراز منجر به نقاط داغ و انحراف میشود. لامپ داغ میشود، پس مطمئن شوید که بستۀ نصب برای بار حرارتی مناسب است و قبل از تأیید فرآیند، سیستم خنککننده را بررسی کنید. چرخه تعویض را با بازههای نگهداری پیشگیرانه برنامهریزی کنید تا با زمانهای توقف برنامهریزینشده مواجه نشوید.