در خطوط لیتوگرافی، حتی اختلاف دمای ۰.۵ درجه سانتیگراد در حین فرآیند پختن رزیست، میتواند باعث اختلال در عرض خطوط تولید شود؛ در نتیجه، ویفرها در مرحله بررسی، دارای نقصاتی خواهند بود. ما یک سپر از جنس شیشه کوارتز برای لامپهای استفاده شده در این فرآیند ساختیم تا از این اختلافات دمایی جلوگیری شود.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما از کوارتز مناسب برای انتقال نور در طول موجهای کوتاه و متوسط استفاده میکنیم؛ همچنین این ماده در برابر انبساط حرارتی کم مقاومت دارد. این ماده باعث میشود که یکنواختی دمایی در سطح ویفرها در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ شود؛ بنابراین فرآیندهای پختن ویفرها قابل تکرار خواهند بود. در اتاقهای تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰، این ماده به گونهای طراحی شده که هیچ ذرهای تولید نشود؛ بنابراین هیچ نقصی ایجاد نخواهد شد. نقاط اتصال و ساختار سپر نیز به گونهای طراحی شدهاند که بتوانند ۲۴ ساعته بدون هیچ مشکلی کار کنند.
چرا این موضوع مهم است؟
در فرآیند رزیست، تکرارپذیری، کیفیت تولید را تضمین میکند. اگر خروجی لامپ پایدار باشد و الگوی حرارتی قابل پیشبینی باشد، میتوان از تغییرات غیرمنتظره در عرض خطوط تولید جلوگیری کرد. همچنین، این سپر باعث میشود که حرارت در جای مناسب خود باقی بماند؛ در نتیجه میتوان از مصرف انرژی کاست. همچنین، با وجود این سپر، مداخلات غیرمنتظره کمتر خواهد بود، زیرا اختلافات حرارتی دیگر وجود نخواهد داشت.
چه چیزهایی باید در نظر گرفته شوند؟
کوارتز مادهای شکننده است؛ بنابراین باید آن را مانند یک قطعه دقیق مدیریت کرد. باید از ضربات مکانیکی جلوگیری کرد و هنگام مونتاژ لامپ، از استانداردهای مربوط به چرخش و تنظیم آن پیروی کرد. سازگاری این ماده با لامپ، به ساختار لامپ، قطعات مورد استفاده برای نصب لامپ، و الگوی حرارتی ماشین مربوطه بستگی دارد. قبل از خرید، باید اطمینان حاصل کرد که این ماده با ابعاد تجهیزات و محدودیتهای اتاق تمیز سازگار باشد.