Empêcher tout accident : séchage sûr des wafer MEMS
La réalité est la suivante : sécher les wafer des capteurs MEMS après un nettoyage chimique, c’est un peu comme jouer avec le feu. On a des éléments chauffants situés juste à côté de vapeurs de solvants qui, pour le dire clairement, sont explosives. On ne peut pas simplement placer une lampe infrarouge ordinaire dans cet environnement en espérant que tout se passera bien.
C’est pourquoi nous nous concentrons sur l’encapsulation. En fait, nous créons une sorte de « forteresse » autour de la lampe afin d’éviter tout risque d’accident.
Arrêter les fuites
Pour empêcher ces gaz nocifs d’atteindre les terminaux électriques, nous plaçons la lampe infrarouge dans un boîtier fabriqué en verre spécial ou en quartz résistant aux produits chimiques. C’est une sorte de mur physique qui protège la lampe. Ensuite, nous scellons les extrémités du boîtier à l’aide de joints en céramique ou d’époxy résistant à haute température. Pourquoi prendre tant de précautions ? Parce que si un joint échoue, les vapeurs atteindront les broches électrifiées. Un seul étincelle suffit pour provoquer un désastre. Nous passons beaucoup de temps à vérifier que ces joints restent hermétiques.
Chaleur, étincelles et câblage
Nous utilisons des technologies infrarouges à ondes courtes, car elles permettent de diriger la chaleur directement sur la surface du wafer, plutôt que de simplement chauffer l’air autour. Cela permet de maintenir la température ambiante bien en dessous du point d’inflammation des agents de nettoyage.
De plus, nous ne prenons aucun risque concernant le câblage. Nous utilisons des revêtements en PTFE ou PFA. Le PVC classique fondrait ou serait endommagé, laissant les fils exposés. Ce n’est certainement pas une solution à privilégier.
Un conseil rapide : assurez-vous que votre système de ventilation fonctionne correctement. Même avec la meilleure encapsulation, des poches de solvant stagnantes représentent un gros risque. Il faut donc maintenir l’air en mouvement.
Assurer le bon fonctionnement
Le meilleur aspect de cette encapsulation, c’est qu’elle protège le filament des effets néfastes des produits chimiques. Cela signifie que les lampes durent plus longtemps. Nous utilisons également des connecteurs renforcés, car les systèmes de transport des wafer peuvent vibrer, et nous ne voulons pas que quoi que ce soit se détache. Ces connecteurs sont conçus pour être facilement remplacés. Mais attention : il faut toujours vérifier l’étanchéité des joints chaque fois qu’on remplace une lampe. S’il y a une fissure dans le boîtier, la sécurité est compromise.
Il faut également trouver un équilibre entre la puissance de la lampe et sa sécurité. Une puissance trop élevée accélère le processus de séchage, ce qui est positif pour le rendement, mais cela met davantage de pression sur les joints. Il s’agit donc de trouver cet équilibre parfait entre vitesse et sécurité.