Dans le domaine de la lithographie, on sait bien qu’un léger écart de température de 2 °C peut perturber l’uniformité des disques optiques, ce qui force à réutiliser les wafers. Il est donc nécessaire d’avoir une température stable, cycle après cycle. La lampe infrarouge SK15, conçue pour être utilisée dans les fours à wafers, permet précisément cela.
Ce qui est important en réalité La SK15 utilise un émetteur infrarouge à ondes courtes, dont l’énergie est transmise directement dans le photorésistant et la pile de wafers. La réponse est rapide, en millisecondes ; ainsi, le four atteint rapidement la température désirée et la maintient avec une stabilité de ±0,1 °C tout au long du processus. La compatibilité avec les salles propres n’est pas négligée : les matériaux utilisés respectent les normes Classe 1–100, il n’y a pas de génération de particules à température de fonctionnement, et la répétabilité de la production reste excellente, même après plus de 5 000 heures d’utilisation, avec moins de 5 % de variation d’intensité lumineuse. La densité d’énergie est adaptée aux besoins thermiques du four à wafers, et la lampe s’intègre facilement dans les supports et interfaces électriques standards.
Pourquoi c’est idéal pour les lignes de production Le séchage des wafers, le durcissement ou le ramollissement du photorésistant sont tous des étapes sensibles à la température. L’irradiation uniforme fournie par la SK15 réduit les écarts entre les différentes zones du disque optique, ce qui améliore le taux de réussite des opérations sur des circuits complexes. Le temps nécessaire pour atteindre la température souhaitée est réduit, sans pour autant compromettre le contrôle du profil thermique. La consommation d’énergie diminue, car l’énergie est utilisée là où elle doit l’être, c’est-à-dire dans le photorésistant, plutôt que de chauffer la chambre. En conséquence, le contrôle des dimensions critiques est amélioré, il y a moins de produits défectueux, et les intervalles de maintenance peuvent être planifiés plus facilement.
Ce qu’il faut surveiller La SK15 nécessite une géométrie du réflecteur adaptée, ainsi qu’une tension d’alimentation propre et sèche. Si le flux d’air dans le four ou le système de régulation de la température ne fonctionne pas correctement, cela peut provoquer un problème thermique. Il est donc nécessaire de procéder à une calibration dès la première maintenance préventive, et de s’assurer que le contrôleur du four peut gérer les caractéristiques de courant de la lampe. Une fois ces conditions remplies, la lampe fonctionnera de manière fiable.