בתהליך הליתוגרפיה, תהליכי החימום הרך והקשה אינם רק “שלבים” בתהליך – אלו הם התחייבויות שיש לקיים. שינוי של 2 מעלות צלזיוס בטמפרטורת הפוטורזיסט יכול לגרום לשינוי בממדים החשובים של השבב ברמת ננומטרים. חלקיק אחד בלבד שנוצר במהלך החימום יכול להרוס שבב בגודל 300 ממ. לכן, פיתחנו מערך חימום באינפרא-אדום מודולרי שמתאים למציאות הזו.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים במקורות אור באינפרא-אדום במערך מודולרי, כך שעוצמת החימום נשלטת באופן מדויק בכל אזור, ולא באופן ממוצע על פני שטח גדול. התוצאה: אחידות בטמפרטורה של ±0.1 מעלות צלזיוס לאורך כל תהליך הייצור, עם מדידה באמצעות תרמוקפלים ובדיקה באמצעות חיישנים שמתקנים את הנתונים לפי ערכי ההפרשה התרמית. זמן התגובה הוא פחות משנייה, כך שאין שינויים פתאומיים בטמפרטורה כשמשנים את ההגדרות. הציוד מתאים לתנאי חדר נקי מסוג Class 1 – מעטפת אטומה, חומרים עם פליטה נמוכה של גזים, ללא חוטים חשופים. כמות החלקיקים שנוצרים נשארת נמוכה, והאמינות של התהליך נשמרת בזכות שליטה בלולאה סגורה וגאומטריה קבועה של מקורות האור.
למה זה עובד בקו הייצור? תהליך החימום של הפוטורזיסט דורש דיוק בטמפרטורה כדי להשיג את הממדים הרצויים של השבב, וכן ניקיון מרבי כדי למנוע פגמים. המערך שלנו מספק את שני הדברים האלו. זמן ההתאמה קצר, כך שהקו נשאר יציב. צריכת האנרגיה פוחתת, מכיוון שהאור באינפרא-אדום מחמם את השבב ישירות, ולא את המכשירים שמסביבו. האמינות של התהליך גבוהה, והעיצוב המודולרי מאפשר להחליף רכיבים ללא צורך בזמן עצירה בלתי צפוי.
הפרטים המעשיים המערך מתחבר למערכות הקיימות דרך חיבורים מכניים וחשמליים סטנדרטיים. עם זאת, יש צורך לבדוק את ההתאמה של המערכת לכל סוג של פוטורזיסט ולגודל השבב. ניתן לצפות לתקופת התאמה קצרה כדי לקבוע את ההגדרות הנכונות. לאחר מכן, התהליך נשאר יציב – ללא שינויים פתאומיים.