फैब फ्लोर पर, एक्सपोजर के बाद होने वाली बेकिंग प्रक्रिया ही वह महत्वपूर्ण चरण है, जिसमें ही उत्पादन प्रक्रिया सफल या विफल होती है। वेफर में आधा डिग्री का भी अंतर, उत्पादन प्रक्रिया को विफल बना सकता है; ऐसी स्थिति में घंटों की मेहनत बेकार चली जाती है। इसीलिए हमारे PEB हीटर ऐसे ही डिज़ाइन किए गए हैं कि वे लगातार उच्च गुणवत्ता वाला तापमान बनाए रख सकें।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं; इन एमिटरों का डिज़ाइन ऐसा है कि ऊर्जा तेज़ी से एवं सटीक रूप से फोटोरेजिस्ट में पहुँचे। इससे बेकिंग क्षेत्र में उष्मा संतुलन बना रहता है, एवं वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है। नियंत्रण प्रणाली में बंद-लूप फीडबैक, उच्च-रिज़ॉल्यूशन वाले सेंसर, एवं ऐसी तकनीकें भी शामिल हैं जिससे तापमान तेज़ी से स्थिर हो जाता है। यह प्रणाली क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में ही काम करती है; इससे बेकिंग के दौरान कोई भी कण नहीं उत्पन्न होता, इसलिए दोषों की संख्या शून्य ही रहती है।
लिथोग्राफी में, PEB का तापमान ही रासायनिक प्रक्रियाओं एवं अंतिम उत्पाद की गुणवत्ता को निर्धारित करता है। यह हीटर तेज़ी से ऊर्जा पहुँचाता है, उसे स्थिर रखता है, एवं तापमान को भी नियंत्रित रखता है; इससे उत्पादन प्रक्रिया हर बार समान ही रहती है। इससे बेकिंग की प्रक्रिया तेज़ हो जाती है, ऊर्जा की खपत कम हो जाती है, एवं अनप्लान्ड स्टॉप भी कम हो जाते हैं। परिणामस्वरूप, उत्पादन प्रक्रिया में नियंत्रण बना रहता है, एवं तापमान संबंधी समस्याएँ भी कम हो जाती हैं।
यदि इसकी योजना नहीं बनाई गई, तो क्या होगा?
इस उपकरण की स्थापना तभी ही सफल होगी, जब बेकिंग स्टेशन की ज्यामिति, उपकरणों का इंटरफेस, एवं वेंटिलेशन प्रणाली उचित हो। रिट्रॉफिट किट उपलब्ध हैं, लेकिन अलाइनमेंट की सटीकता बहुत ही महत्वपूर्ण है… अन्यथा उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित हो जाएगी।
जब चेम्बर की परावर्तकता एवं वेफर की विकिरण क्षमता स्थिर रहती है, तब ही यह उपकरण सर्वोत्तम प्रदर्शन देता है। यदि कोटिंगें बदल दी गईं, या कैरियर बदल दिए गए, तो तापमान संतुलन बिगड़ जाता है… ऐसी स्थिति में पुनः कैलिब्रेशन आवश्यक हो जाता है। पहले ही मल्टी-पॉइंट थर्मल मैप बनाकर बेसलाइन निर्धारित कर लेना चाहिए… इसके बाद ही सिस्टम स्थिर रहेगा।