Berhentilah memanaskan mesin Anda, dan mulailah memanaskan wafer saja.
Jika Anda pernah bekerja dengan wafer semikonduktor, Anda pasti tahu betapa sulitnya hal tersebut. Anda perlu agar wafer tetap panas, tetapi Anda tidak ingin peralatan berharga lainnya menjadi “pemanas raksasa”.
Pemanas radiasi biasa hanya akan menyebarkan panas ke mana-mana. Peralatan ini justru membuat dinding bagian dalam menjadi sumber panas, membuang banyak energi, dan yang paling buruk adalah membuat permukaan peralatan menjadi sangat panas sehingga bisa melukai pengoperasinya. Sungguh merepotkan.
Inilah cara kami memperbaikinya.
Kami menggunakan lampu inframerah gelombang pendek. Alih-alih mencoba menghangatkan udara (yang membutuhkan waktu lama dan tidak efisien), lampu ini mengirimkan energi langsung ke permukaan wafer. Kami juga menggunakan reflektor khusus dan pelindung berbahan kuarsa untuk memfokuskan energi tersebut. Dengan demikian, panasnya langsung sampai ke wafer, sedangkan bagian lain dari mesin tidak terpengaruh.
Mengapa hal ini penting bagi proses kerja Anda?
Saat memilih lampu ini, kami mencari lampu yang memiliki densitas panas tinggi dalam ruang yang kecil. Karena energi inframerah gelombang pendek menembus bahan dengan cepat, waktu yang dibutuhkan untuk memanaskan wafer pun berkurang drastis. Selain itu, karena energi tersebut difokuskan, Anda tidak perlu lagi berjuang melawan peningkatan suhu di dalam mesin. Suasana di dalam mesin pun menjadi lebih sejuk.
Ada satu kelemahan…
Lihatlah, ini bukan sihir. Ini hanyalah prinsip fisika. Karena energinya sangat terfokus, suhu di tempat tersebut akan sangat tinggi. Anda harus memastikan bahwa substrat yang digunakan mampu menahan lonjakan suhu yang drastis tersebut, atau risiko retak atau kerusakan pada substrat akan meningkat. Selain itu, jika kontroler PID tidak disetel dengan tepat, suhu mesin bisa melebihi batas yang ditentukan. Anda perlu sangat teliti.
Kami merancang sistem ini agar dapat menggantikan sistem pemanas lama yang rumit tersebut. Dengan begitu, sistem pendingin air di fasilitas Anda tidak perlu bekerja keras. Tim pemeliharaan pun akan berterima kasih karena mesin tersebut tidak lagi berbahaya untuk disentuh.