Di proses litografi, Anda tahu bahwa perubahan suhu sebesar 2°C saja sudah cukup untuk mengganggu kualitas permukaan wafer, sehingga wafer tersebut perlu diproses ulang. Diperlukan suhu yang stabil selama berulang-ulangnya proses produksi. Lampu inframerah SK15 dirancang khusus untuk tujuan ini.
Apa yang penting dalam penggunaannya
SK15 menggunakan emitor inframerah berpanjang gelombang pendek, yang memungkinkan transfer energi secara langsung ke lapisan fotoresist dan wafer. Responnya sangat cepat, sehingga oven dapat mencapai suhu yang diinginkan dengan cepat, dan mempertahankannya pada tingkat stabilitas ±0,1°C. Kompatibilitas dengan lingkungan ruang bersih juga merupakan hal yang penting: bahan-bahan yang digunakan sesuai standar kelas 1–100, tidak ada partikel yang dihasilkan saat beroperasi, dan intensitas cahaya tetap stabil meski digunakan selama lebih dari 5.000 jam, dengan penyimpangan intensitas kurang dari 5%. Kepadatan daya lampu disesuaikan dengan kebutuhan termal oven, dan ukuran lampu pun cocok untuk digunakan dalam sistem pemasangan standar serta antarmuka listrik.
Mengapa SK15 cocok digunakan dalam proses produksi
Proses pengeringan wafer, pemanasan fotoresist, dan proses pemanasan keras semuanya merupakan proses yang sensitif terhadap suhu. Radiasi yang dihasilkan oleh SK15 membantu mengurangi perbedaan suhu antara bagian tepi dan tengah wafer, sehingga meningkatkan kualitas produk. Proses penyesuaian suhu berlangsung lebih cepat, sehingga waktu siklus produksi berkurang tanpa mengorbankan kontrol kualitas. Penggunaan energi juga berkurang, karena energi hanya digunakan untuk tujuan yang tepat, bukan untuk memanaskan seluruh ruang oven. Hasilnya adalah kontrol dimensi yang lebih akurat, jumlah limbah yang berkurang, serta interval pemeliharaan yang dapat direncanakan dengan baik.
Hal-hal yang perlu diperhatikan
SK15 membutuhkan geometri reflektor yang tepat, serta tegangan supply yang bersih dan kering. Jika aliran udara di dalam oven atau sistem umpan balik suhu tidak disetel dengan baik, bisa terjadi kondisi overheating. Lakukan kalibrasi pada saat pemeliharaan preventif pertama, dan pastikan kontroler oven mampu menangani karakteristik arus masuk lampu. Dengan kondisi yang memadai, lampu SK15 akan berfungsi secara konsisten.