Come mantenere una sala pulita di classe 100 davvero pulita
Se gestite una sala pulita di classe 100, sicuramente conoscete i problemi legati alla presenza di polvere: anche un singolo granello di polvere nel posto sbagliato può rovinare l’intera produzione di semiconduttori. Il problema è che la maggior parte degli elementi riscaldanti produce polvere: non appena vengono riscaldati, emettono particelle microscopiche.
Per risolvere questo problema, abbiamo optato per una soluzione semplice ma efficace: lampade a raggi infrarossi in quarzo e cavi rivestiti in Teflon (PTFE).
Le caratteristiche del quarzo ad alta purezza
Utilizziamo quarzo fuso per realizzare gli involucri delle lampade. Perché? Perché riesce a sopportare alti shock termici senza subire danni, e non rilascia impurità nell’aria. Queste lampade utilizzano radiazioni infrarosse a breve lunghezza d’onda; invece di riscaldare l’aria intorno al wafer – causando così correnti convettive che sollevano polvere dal pavimento – l’energia viene diretta direttamente sul substrato. In questo modo si ottiene un ambiente molto più pulito.
Perché insistiamo sull’uso di cavi in PTFE
I cavi tradizionali in PVC o silicone non resistono al calore: si bruciano o rilasciano composti organici volatili che possono rovinare il lavoro. Questo non è certo accettabile in un ambiente di produzione di semiconduttori. Ecco perché utilizziamo cavi rivestiti in Teflon (PTFE): sono chimicamente inerti e riescono a sopportare il calore senza subire danni. Non degradano, non si frammentano, e mantengono l’ambiente sterile.
Alcuni consigli per l’installazione
Attenzione: il PTFE è più rigido del silicone. Se cercate di piegarlo troppo, potrebbe danneggiarsi. Lasciate quindi ai cavi sufficiente spazio per muoversi liberamente. Inoltre, fate attenzione alla temperatura: l’intensità dei raggi infrarossi è elevata. Anche se il quarzo stesso è puro, quel calore può essere pericoloso. Assicuratevi che i sistemi di raffreddamento siano adeguati: se sono troppo piccoli, i supporti di fissaggio potrebbero deformarsi. Peggio ancora, le lampade potrebbero guastarsi prima del tempo, a causa dei sigilli che non riescono a resistere al calore.