Smettete di riscaldare la macchina e iniziate invece a riscaldare il wafer stesso.
Se avete mai lavorato con wafer semiconduttori, sapete bene quali siano le difficoltà. È necessario che il wafer rimanga caldo, ma non si vuole che tutto il resto dell’attrezzatura costosa venga trasformato in un enorme riscaldatore.
La maggior parte dei riscaldatori a radiazione standard dispersa il calore ovunque: trasformano le pareti interne in “scambiatori di calore”, sprecano molta energia e, cosa peggiore, rendono l’interno dell’apparecchiatura così caldo da poter causare ustioni agli operatori. È davvero un disastro.
Ecco come risolviamo questo problema.
Utilizziamo lampade a infrarossi a lunghezza d’onda corta. Invece di cercare di riscaldare l’aria (cosa lenta ed inefficiente), queste lampade irradiano l’energia direttamente sulla superficie del wafer. Utilizziamo riflettori specifici e involucri in quarzo per mantenere l’energia concentrata sul punto giusto. In pratica, il calore arriva esattamente dove è necessario: il wafer riceve l’energia, mentre il corpo dell’apparecchiatura rimane al riparo dal calore eccessivo.
Perché questo è importante per il vostro lavoro
Quando scegliamo queste lampade, cerchiamo una elevata densità termica in uno spazio ridotto. Poiché i raggi infrarossi a lunghezza d’onda corta penetrano rapidamente nel materiale, i tempi di riscaldamento diminuiscono notevolmente. Inoltre, poiché l’energia è concentrata, non c’è più il problema legato all’accumulo di calore nell’apparecchiatura. L’ambiente diventa semplicemente più fresco.
L’unica svantaggio…
Bene, non si tratta di magia: è semplicemente fisica. Poiché l’energia è molto concentrata, si crea un calore intenso localizzato. Bisogna assicurarsi che il substrato possa resistere a tale aumento di temperatura improvviso; altrimenti si possono verificare crepe o deformazioni. Inoltre, se i controller PID non sono regolati correttamente, si potrebbe superare la temperatura desiderata. Bisogna essere precisi.
Abbiamo progettato questi sistemi per essere sostituti semplici e immediati per quegli vecchi sistemi di riscaldamento ingombranti. Passando a questi nuovi sistemi, i sistemi di raffreddamento dell’impianto non devono più lavorare tanto. E il personale addetto alla manutenzione vi ringrazierà per aver reso l’apparecchiatura meno pericolosa da utilizzare.