Nel processo di litografia, l’umidità presente nel fotorestito o nell’ossido naturale presente sulla sottile lamina di silicio non rappresenta certo un problema trascurabile. Essa influisce negativamente sulle condizioni termiche necessarie per il processo di trattamento, compromette la dose di radiazione utilizzata e rende le dimensioni critiche del componente in questione difficilmente controllabili. Se la lampada utilizzata per il riscaldamento non è in grado di mantenere una temperatura costante e un ambiente pulito, questa variabilità persiste anche durante i processi di riscaldamento, influenzando negativamente il risultato finale del processo di produzione.
Cosa è importante davvero
Abbiamo progettato questa lampada per la rimozione dell’umidità utilizzando elementi a infrarossi a onde corte, inseriti all’interno di involucri in quarzo ad alta purezza. Questo permette un riscaldamento veloce e localizzato, con un controllo preciso dello spettro delle radiazioni emesse. L’uniformità della temperatura nella zona illuminata rimane entro i ±0,1°C, mentre la ripetibilità dei risultati è compresa tra i ±0,5°C, anche dopo migliaia di cicli di riscaldamento. Il sistema funziona in ambienti puliti di classe 1–100, e verifichiamo l’assenza totale di particelle presenti nell’ambiente grazie a sistemi di monitoraggio in tempo reale. La potenza emessa dalla lampada rimane stabile anche dopo 5.000 ore di funzionamento, con una variazione di intensità inferiore al 5%.
In litografia, la lampada agisce prima del processo di riscaldamento, eliminando così l’umidità presente sul superficie da trattare. In questo modo si riduce l’effetto “skin effect” e si eliminano le irregolarità nel processo di fusione del fotorestito.
I vantaggi sono evidenti: la densità dei difetti diminuisce, il controllo delle dimensioni critiche migliora, e non è più necessario effettuare ulteriori cicli di lavorazione sui componenti difettosi. Inoltre, il consumo di energia diminuisce, poiché la lampada riscalda soltanto il bersaglio da trattare, e non le pareti della camera di lavoro. Gli intervalli di sostituzione della lampada aumentano grazie alla struttura del filamento e al controllo delle sollecitazioni termiche, il che riduce i costi legati alle scorte di ricambi e accorcia i tempi di manutenzione.
L’installazione richiede semplicemente un corretto allineamento della lampada e un adeguato controllo termico. È fondamentale assicurarsi che la superficie da trattare sia allineata correttamente, e che i materiali e le componenti circostanti siano nelle condizioni richieste.
La lampada funziona correttamente quando la superficie da trattare si trova nel piano focale. Se invece è fuori dal piano focale, l’uniformità della temperatura viene compromessa. È importante assicurarsi che il controller possa gestire correttamente i dati relativi alla temperatura, e che i connettori utilizzati siano compatibili con la tensione e la corrente richieste dalla stazione di lavoro. È inoltre necessario effettuare regolari controlli sul quarzo utilizzato per la lampada, al fine di evitare l’accumulo di depositi e mantenere stabile lo spettro delle radiazioni emesse.