Di bilik litografi, suhu bukan sekadar parameter biasa – ia sebenarnya merupakan komponen penting dalam proses pengeluaran cip. Perubahan suhu sebanyak 2°C semasa proses pembakaran yang lembut boleh mengubah ketebalan lapisan fotoresist. Selain itu, perubahan suhu yang sedikit pun semasa proses pembakaran yang keras boleh menyebabkan kawalan dimensi cip menjadi tidak tepat. Wafer sentiasa bergerak, dan oven pula tidak pernah berhenti bekerja. Oleh itu, pengurusan suhu memainkan peranan yang sangat penting.
Apa yang penting di sebaliknya
Kami menggunakan sistem pemanasan berzon untuk setiap bahagian yang memerlukan kawalan suhu yang tepat. Tujuannya adalah untuk mengawal kawasan-kawasan yang mempunyai suhu tinggi, tanpa mempengaruhi keseluruhan permukaan wafer. Unsur halogen berfrekuensi rendah memberikan respons yang cepat, manakala sistem kawalan tertutup memastikan ketepatan suhu pada tahap ±0.1°C sepanjang proses pembakaran.
Sistem ini beroperasi dalam bilik bersih kelas 1–100, dan direka untuk mengelakkan kehadiran zarah-zarah yang boleh merosakkan cip. Bahan-bahan yang digunakan mempunyai kadar pelepasan gas yang rendah, antarmuka kuarsa/keramik yang tertutup rapat, serta aliran udara yang terkawal, sehingga jumlah zarah tetap stabil walaupun proses pembakaran berlangsung untuk jangka masa yang lama. Ketepatan ini sangat penting agar setiap proses pembakaran dapat dilakukan dengan lancar.
Mengapa cara ini berkesan di kilang pengeluaran cip
Di kilang pengeluaran cip skala besar, sistem pemanasan berzon membantu mengawal variasi suhu dengan lebih efektif. Proses pemprosesan fotoresist menjadi lebih stabil, sekali gus mengurangkan jumlah cip yang rosak dan memerlukan pembetulan. Para jurutera juga dapat mengawal dimensi cip dengan lebih baik.
Ketepatan ini juga membantu mengurangkan penggunaan tenaga, kerana sistem ini dapat mengelakkan keadaan suhu yang berlebihan. Komponen-komponen ini direka untuk beroperasi 24/7 dengan jadual penyelenggaraan yang tetap, sehingga mengurangkan risiko gangguan operasi yang tidak dijangka.
Apa yang perlu dipastikan
Sistem pemanasan berzon akan memberi manfaat apabila pola suhu sesuai dengan susunan wafer dan urutan proses pembakaran. Anda perlu merancang jumlah dan posisi zon pemanasan berdasarkan geometri plat pemanas dan prosedur pengeluaran yang digunakan. Selain itu, pastikan aliran udara dan saluran pembuangan udara berfungsi dengan baik agar standard bilik bersih tetap terpelihara.
Pemasangan sistem ini agak mudah pada kebanyakan platform pengeluaran, tetapi sebelum memulakan perubahan pada sistem tersebut, pastikan struktur mekanikal dan antarmuka utiliti sudah disediakan dengan baik.