Houd je Class 100-reinruimte echt schoon
Als je een Class 100-reinruimte beheert, weet je hoe belangrijk het is om deze schoon te houden. Eén klein stofdeeltje op de verkeerde plek kan ervoor zorgen dat al je halfgeleiders beschadigd raken. Het probleem is dat de meeste verwarmingselementen eigenlijk ‘stoffabrieken’ zijn: ze geven zodra ze heet worden microscopisch kleine deeltjes af.
We hebben dit opgelost door gebruik te maken van een eenvoudige combinatie: kwarts-infraroodlampen en Teflon (PTFE)-bedrading.
Het voordeel van kwarts van hoge zuiverheid
We gebruiken gevormd kwarts voor de lampen. Waarom? Omdat het grote thermische schokken kan weerstaan zonder te breken, en er geen onzuiverheden in de lucht terechtkomen.
Deze lampen gebruiken kortegolfige infrarode straling. In plaats van de lucht rondom de chip op te warmen – waardoor er storende convectiestromingen ontstaan die stofdeeltjes in de lucht brengen – gaat de energie rechtstreeks naar het substraat. Dit maakt de omgeving veel schoner.
Waarom we per se PTFE-bedrading gebruiken
Standaard PVC- of siliciumbedrading kan geen hitte verdragen. Ze branden dan af of geben vluchtige organische verbindingen af, waardoor je werk wordt verstoord. Dat is natuurlijk niet acceptabel in een halfgeleiderfabriek.
Daarom gebruiken we bedrading die is bedekt met Teflon (PTFE). Dit materiaal is chemisch inert en kan de hitte goed verdragen. Het zal niet verslechteren, er zullen geen deeltjes afbreken, en zo blijft je vacuüm- of reinruimte steriel.
Enkele tips voor de installatie
Let op: PTFE is stijver dan silicium. Als je het probeert te buigen tot een kleine cirkel, zal de bedrading beschadigd raken. Geef de kabels wat ruimte.
Kijk ook goed naar de koeling. De uitstraling van de infraroodlampen is intens. Hoewel het kwarts zelf zuiver is, is de hitteflus nog steeds erg sterk. Zorg ervoor dat de koelsystemen goed zijn dimensioneerd. Als ze te klein zijn, kunnen de bevestigingspunten beschadigd raken. Erger nog: de lampen kunnen eerder kapotgaan omdat de afscheidingen aan beide uiteinden de hitte niet kunnen weerstaan.