Op de productielijn is de fase na de belichting cruciaal voor het behouden van een nauwkeurige controle over de afmetingen van de chip. Een verschil van een halve graad in temperatuur op het paneel is al voldoende om de gewenste afmetingen te verstoren, waardoor uren aan werktijd voor niets zijn verspild. Daarom zijn onze PEB-verwarmers zo ontworpen dat ze de temperatuur constant houden, shift na shift.
Wat belangrijk is onder de motorkap
Wij gebruiken kortgolf-infraroodemitters met een kwarts-halogeenbron. De energie wordt snel en efficiënt overgedragen naar de fotoresistlaag. Hierdoor blijft de temperatuur in de bakzone zeer gelijkmatig, met een stabiliteit van ±0,1°C. De herhaalbaarheid wordt gewaarborgd door een gesloten regelingsloop, sensoren met hoge resolutie en een thermische massa die zich snel kan aanpassen zonder dat er sprake is van overdreven temperatuurstijgingen. De apparaten worden gebruikt in klasse 1–100 schone ruimtes, zodat er geen deeltjes vrijkomen tijdens het proces. Hierdoor blijft het aantal defecten minimaal – eigenlijk nul.
In de lithografie bepaalt de PEB-temperatuur de chemische amplificatie en de uiteindelijke afmetingen van de chip. De verwarmers zorgen ervoor dat de temperatuur snel wordt bereikt en stabiel blijft. Hierdoor blijft het procesconsistent van lote tot lote. Er kunnen snellere bakcycli worden uitgevoerd, zonder dat de opbrengst afneemt. Bovendien wordt minder energie verbruikt dankzij de efficiënte infraroodoverdracht. Er zijn ook minder onverwachte stilstanden, omdat de emitters en andere onderdelen speciaal zijn ontworpen voor 24/7 gebruik. Het resultaat is een consistente controle over de afmetingen van de chip, met weinig afwijkingen als gevolg van temperatuurschommelingen.
Een belangrijk punt om rekening mee te houden: de installatie moet overeenkomen met de geometrie van de bakstationen, de interface van de apparaten en de afvoer van lucht. Er zijn aanpassingskits beschikbaar, maar de toleranties zijn nauw – anders leidt dit tot ongelijkmatigheden in de temperatuur.
De apparaten presteren het beste wanneer de reflectiviteit van de kamer en de emissiviteit van het paneel stabiel blijven. Als er coatings worden vervangen of wanneer er andere onderdelen worden gebruikt, verandert het thermische profiel. Hierdoor is het nodig om snel opnieuw te kalibreren. Begin met een multipuntthermische kaart om de basiswaarden vast te stellen. Daarna zal het systeem de gewenste temperatuur behouden.