Na linii produkcyjnej procesu litograficznego to właśnie etap wypalania po ekspozycji decyduje o tym, czy uda się utrzymać kontrolę nad wymiarami elementów wytwarzanych na płytkach krzemowych. Różnica temperatury nawet o pół stopnia może sprawić, że szerokość linii na płytkach przekroczy dopuszczalne wartości, a to oznacza zmarnowanie godzin pracy potrzebnych do ekspozycji i obróbki płytek. Dlatego nasze grzejniki PEB są tak zaprojektowane, aby utrzymać stałą temperaturę podczas całego procesu produkcji.
Co jest ważne pod względem technicznym? Używamy emiterów fal krótkich w zakresie podczerwieni, których źródło energii to kwarc halogenowy. Taki układ pozwala szybko i efektywnie dostarczyć energię do warstwy fotoogniw. Dzięki temu uzyskujemy jednorodność temperatury na poziomie poniżej milimetra, a stabilność temperatury wynosi ±0,1°C. Powtarzalność procesu jest zapewniona dzięki zastosowaniu sprzężeń zwrotnych, czujników o wysokiej rozdzielczości oraz elementów o dużej masie cieplnej, które szybko się stabilizują bez wykrywania nadmiernych spadków temperatury. Urządzenie funkcjonuje w pomieszczeniach klasy 1–100, więc podczas procesu wypalania nie powstają żadne cząsteczki, co sprawia, że liczba defektów pozostaje na poziomie zerowym.
W litografii temperatura PEB determinuje stopień amplifikacji chemicznej oraz końcową szerokość linii na płytkach. Grzejnik szybko dostarcza energię do warstwy fotoogniw, utrzymuje stałą temperaturę i umożliwia przewidywalne chłodzenie, dzięki czemu parametry procesu pozostają stałe pomiędzy poszczególnymi partiami produktów. Dzięki temu możliwe jest skrócenie czasu procesu bez straty jakości, a także zmniejszenie zużycia energii dzięki efektywnemu przekazywaniu energii za pomocą promieniowania podczerwonego. Ponadto mniej dochodzi do nieplanowanych przerw, ponieważ emitory i elementy konstrukcyjne są przygotowane do pracy przez całą dobę. W rezultacie uzyskujemy precyzyjną kontrolę nad wymiarami elementów wytwarzanych na płytkach krzemowych, a także znacznie mniej odchyleń spowodowanych fluktuacjami temperatury.
Jeśli nie zaplanujesz wszystkiego dokładnie, może to przynieść problemy: instalacja musi odpowiadać geometrii stanowiska wypalania, interfejsowi urządzenia oraz układowi odprowadzania gazów. Istnieją zestawy do modyfikacji urządzenia, ale tolerancje alignementu są bardzo precyzyjne – w przeciwnym razie będzie to miało wpływ na jednorodność temperatury.
Urządzenie pracuje najlepiej, gdy odbicia światła w komorze oraz emisja ciepła płytki krzemowej są stabilne. Jeśli zmienisz powłoki lub nośniki, profil termiczny się zmieni, co wymusza szybką kalibrację. Zaczynaj proces kalibracji od utworzenia mapy termicznej w kilku punktach, aby ustalić bazowe wartości. Po tym system będzie utrzymywać stałe parametry temperatury.