Pare de aquecer sua máquina e comece a aquecer o wafer diretamente.
Se você já trabalhou com wafers de semicondutores, sabe bem dos desafios envolvidos. É necessário que o wafer fique quente, mas não se quer que o resto dos equipamentos caros se transforme em um grande aquecedor.
A maioria dos aquecedores radiais convencionais dispersa o calor por toda parte. Eles transformam as paredes internas do equipamento em “resfriadores”, desperdiçando muita energia. Pior ainda: o ambiente ao redor do equipamento fica tão quente que pode causar queimaduras nos operadores. É um caos.
Eis como resolvemos esse problema.
Usamos lâmpadas de infravermelho de onda curta. Em vez de tentar aquecer o ar (o que é lento e ineficiente), essas lâmpadas direcionam a energia diretamente para a superfície do wafer. Usamos refletores específicos e invólucros de quartzo para manter essa energia concentrada.
Basicamente, o calor vai exatamente para onde precisa ir. O wafer recebe a energia necessária, enquanto o chassi do equipamento não é afetado pelo calor.
Por que isso é importante para seu fluxo de trabalho
Ao escolher essas lâmpadas, buscamos alta densidade de calor em um espaço pequeno. Como o infravermelho de onda curta penetra rapidamente no material, o tempo necessário para aquecer o wafer diminui drasticamente. Além disso, como a energia é concentrada, não há mais necessidade de lidar com o calor excessivo dentro do equipamento. O ambiente parece simplesmente mais fresco.
Mas há uma contrapartida…
Isso não é mágica. É física. Como a energia é tão concentrada, você lida com um calor intenso localizado. É preciso ter cuidado para que o substrato consiga suportar esse aumento rápido de temperatura; caso contrário, podem surgir rachaduras e deformações no material.
Além disso, se os controladores PID não estiverem ajustados para lidar com a velocidade de reação dessas lâmpadas, você pode ultrapassar a temperatura desejada. É preciso ser preciso.
Projetamos esses sistemas para serem substitutos simples para aqueles antigos e ineficientes sistemas de aquecimento. Ao trocá-los, os sistemas de refrigeração da sua fábrica não precisam trabalhar tanto.
E sua equipe de manutenção? Eles vão agradecer por você não ter deixado a máquina se tornar um perigo.