Как предотвратить возникновение опасных ситуаций: безопасное сушение пластин MEMS
На самом деле процесс сушки пластин MEMS-датчиков после химической обработки напоминает игру с огнем. Рядом с парами растворителей находятся нагревательные элементы, которые, честно говоря, могут взорваться. Нельзя просто поместить туда обычную инфракрасную лампу и надеяться на лучшее.
Поэтому мы сосредотачиваемся на создании защитного корпуса для лампы. Это своего рода «крепость», которая не позволяет произойти катастрофе.
Пресечение утечек
Чтобы предотвратить попадание вредных газов к электрическим контактам, мы помещаем инфракрасную лампу в корпус из специального стекла или кварца, устойчивого к химическим воздействиям. Это своего рода физическая преграда. Затем мы закрываем концы корпуса с помощью керамических или металлических уплотнителей или высокотемпературного эпокси-смолы. Зачем все это делать? Потому что если уплотнитель сломается, пары растворителя попадут на активные контакты. Один искра – и все будет потеряно. Мы тратим много времени на обеспечение герметичности всех соединений.
Тепло, искры и провода
Мы используем технологию коротковолнового инфракрасного излучения – это более эффективный способ. Тепло передается непосредственно на поверхность пластины, а не просто нагревает воздух вокруг нее. Это позволяет поддерживать температуру воздуха значительно ниже точки вспышки растворителей.
Мы также не экспериментируем с проводами. Мы используем изоляцию из PTFE или PFA. Стандартный PVC просто расплавится или будет разрушен, оставив провода без защиты. Это опасный подход.
Еще один совет: убедитесь, что ваша система вентиляции работает исправно. Даже при наилучшей защите существует риск скопления растворителей. Необходимо обеспечивать циркуляцию воздуха.
Обеспечение стабильной работы
Самое главное преимущество такого корпуса – он защищает нити лампы от химического воздействия. Это означает, что лампы служат дольше. Мы также используем усиленные соединители, поскольку системы транспортировки пластин часто вибрируют, и мы не хотим, чтобы что-то отвалилось.
Эти соединители предназначены для легкой замены. Но есть нюанс: каждый раз при замене лампы необходимо проверять герметичность уплотнителей. Если в корпусе есть трещины, безопасность нарушена.
Нам также нужно соблюдать определенный баланс между мощностью и безопасностью. Высокая температура ускоряет процесс сушки, но это увеличивает нагрузку на уплотнители. Мы стараемся найти правильный баланс между скоростью и безопасностью.