На поверхности каменной платформы даже один влажный шаг может повлиять на качество готового продукта. Сразу после очистки следы воды и остаточная влажность не являются лишь эстетической проблемой – они способствуют образованию частиц и приводят к неравномерному прилипанию фоторезиста. Традиционное сушение с использованием контакта? Это рискует привести к появлению царапин и переносу частиц. В результате получаются бракованные пластинки, а критические размеры изделий становятся неточными.
Что действительно важно
Мы разработали устройство для сушки пластинок без контакта, используя источник коротковолнового инфракрасного излучения. Оно быстро нагревает поверхность пластинки, при этом сама поверхность остается незатронутой. Важным параметром является тепловая однородность – отклонение не должно превышать ±0,1°C по всей поверхности пластинки. Этого можно добиться благодаря циклической системе управления, которая отслеживает потери тепла и компенсирует их в реальном времени. Устройство подходит для использования в чистых помещениях класса 1; в зоне сушки нет движущихся частей, а система фильтрации сохраняет уровень частиц ниже допустимого значения. Повторяемость процесса сушки составляет менее 0,2°C, что способствует точному контролю размеров изделия.
Устройство эффективно работает как при обработке пластинок размером 300 мм, так и 200 мм, а также с оксидными, нитридными и металлическими слоями. Безконтактная работа предотвращает возникновение микроцарапин и сокращает время сушки. Благодаря быстрому нагреву сокращается время обработки, что позволяет повысить производительность без увеличения энергозатрат. Энергопотребление снижается, поскольку лампа нагревает только саму пластинку, а не окружающие её элементы. Результатом является минимальное количество дефектов при проверке качества, более строгий контроль процесса и предсказуемость расписания производства.
Несколько практических советов
Лампе необходим источник питания с чистым напряжением и стабильной температурой охлаждающей воды для поддержания оптимальной температуры оптического окна. Устройство можно легко интегрировать в большинство установок для обработки пластинок, но оптическая трасса должна быть выровнена с точностью до 0,5 мм для сохранения однородности. Перед началом использования проведите тестирование, чтобы определить точные параметры вашей структуры пластинки и убедиться, что процесс сушки соответствует требованиям фоторезиста.