На производственном участке процесс высушивания пластины после облучения определяет успех или неудачу в контроле размеров деталей. Даже отклонение в полградуса может привести к тому, что ширина линий на пластине окажется за пределами допустимых значений, и тогда все часы, затраченные на облучение и эрозию, будут потрачены впустую. Поэтому наши нагреватели PEB разработаны так, чтобы сохранять стабильность температуры на протяжении всего процесса.
Что имеет значение внутри устройства
Мы используем инфракрасные излучатели с кварцево-галогенным источником света; их настройка позволяет энергии быстро и эффективно поступать в слой фоторезиста. Это обеспечивает тепловую однородность в зоне высушивания на уровне менее миллиметра, а также стабильность температуры на уровне ±0,1°C. Повторяемость процесса обеспечивается за счет замкнутой системы обратной связи, высокоточных датчиков и элементов, способных быстро приходить в состояние равновесия без перегрева. Устройство работает в классах чистоты 1–100, что исключает появление частиц в процессе высушивания, благодаря чему количество дефектов остается на минимальном уровне.
В процессе литографии температура, создаваемая нагревателем PEB, определяет степень химического усиления и конечную ширину линий. Нагреватель быстро достигает нужной температуры, поддерживает её на постоянном уровне и позволяет пластине охлаждаться предсказуемо. Это обеспечивает стабильность процесса от партии к партии. Благодаря этому ускоряется время высушивания, снижается расход энергии за счёт эффективного использования инфракрасного излучения, а также сокращается количество непланированных остановок, поскольку излучатели и крепления рассчитаны на круглосуточную работу. В результате достигается стабильный контроль размеров деталей, а отклонения, связанные с тепловыми факторами, минимальны.
Если не учесть определённые факторы, это может привести к проблемам: устройство должно соответствовать геометрии станции высушивания, интерфейсу оборудования и схеме вывода воздуха. Существуют киты для модернизации, но допуски к выравниванию очень строгие — в противном случае возникают проблемы с однородностью температуры.
Устройство работает наилучшим образом, когда коэффициент отражения камеры и эмиссивность пластины остаются стабильными. Если менять покрытия или носители, тепловой профиль изменится, что потребует повторной настройки. Начните процедуру калибровки с создания многопунктной тепловой карты, чтобы определить базовые параметры. После этого система будет сохранять стабильность температуры.