บนพื้นลิทโธกราฟี การเบี่ยงเบน 0.3°C ระหว่างการอบเรซินอีบีมสามารถเปลี่ยนรูปแบบที่ควบคุมไว้ให้กลายเป็นความยุ่งเหยิงของความกว้างของเส้น เราได้สร้างอุปกรณ์ทำความร้อนสำหรับการอบเรซินอีบีมเพื่อหยุดการเบี่ยงเบนนี้ก่อนที่จะเริ่ม—เพราะผลผลิตนั้นวัดได้ในระดับนาโนเมตร ไม่ใช่ความคิดเห็น
สิ่งที่สำคัญภายใน
เราใช้ส่วนประกอบอินฟราเรดคลื่นสั้นร่วมกับเส้นทางความร้อนที่มีพื้นฐานจากควอตซ์ ดังนั้นการตอบสนองจึงรวดเร็วและอุณหภูมิในสถานะคงที่ยังคงอยู่ ความสม่ำเสมอในระดับเวเฟอร์คงที่ที่ ±0.1°C ทั่วทั้งพื้นผิวการอบ และการทำซ้ำอยู่ที่ ±0.05°C ระหว่างล็อต อุณหภูมิที่เพิ่มขึ้นสามารถทำซ้ำได้ตามการออกแบบ ดังนั้นโปรไฟล์การอบแบบนุ่มและแบบแข็งของคุณจะไม่เบี่ยงเบน แม้ในขณะที่มีการจัดคิวซ้อนกัน การออกแบบแพลตฟอร์มนี้เหมาะสำหรับการใช้งานในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยเลือกใช้วัสดุและพื้นผิวเพื่อให้การสร้างอนุภาคใกล้เคียงกับศูนย์ ในทางปฏิบัติ นั่นแปลว่า มีการปฏิเสธที่น้อยลงเนื่องจากการปนเปื้อนและมีเวลาทำงานมากขึ้นระหว่างรอบการทำความสะอาด
ทำไมสิ่งนี้ถึงสำคัญในกระบวนการเรซินอีบีม
เรซินอีบีมมีความต้องการเฉพาะเกี่ยวกับงบประมาณความร้อนและเวลา อุปกรณ์ทำความร้อนนี้ช่วยให้ขั้นตอนการอบมีความเสถียร ดังนั้นการควบคุมขนาดที่สำคัญจึงมีความแน่นหนาและการยึดเกาะของเรซินทำงานได้อย่างคาดเดาได้ทั่วทั้งเวเฟอร์ คุณจะมีการทำงานใหม่ที่น้อยลง การรับรองที่เร็วขึ้น และหน้าต่างกระบวนการที่ยังคงอยู่ การใช้พลังงานถูกปรับให้เหมาะสมด้วยการทำความร้อนแบบเฉพาะเจาะจงและการเชื่อมต่อความร้อนที่มีประสิทธิภาพ ดังนั้นจึงมีความร้อนที่สูญเสียน้อยลงที่จะก่อให้เกิดปัญหากับขั้นตอนที่อยู่ติดกัน ความน่าเชื่อถือถูกสร้างขึ้นเพื่อการใช้งานตลอด 24 ชั่วโมง 7 วัน—ส่วนประกอบที่ออกแบบมาสำหรับการใช้งานต่อเนื่อง และการเข้าถึงบริการที่วางแผนมาเพื่อให้การบำรุงรักษาเป็นไปอย่างรวดเร็วโดยไม่ต้องหยุดการผลิต
สิ่งที่คุณต้องวางแผน
การติดตั้งขึ้นอยู่กับการจับคู่ขนาดพื้นห้องและการยืนยันการจัดตำแหน่งของการเชื่อมต่อกับส่วนติดต่อเครื่องมือของคุณ หากพื้นผิวที่เชื่อมต่อกันไม่ได้จัดแนวกัน คุณอาจพบเส้นทางการรั่วไหลและการติดต่อความร้อนที่ไม่เสถียร คาดว่าจะมีการทดลองใช้งานในช่วงสั้นๆ เพื่อกำหนดโปรไฟล์การอบสำหรับสแต็กเรซินของคุณ—เคมีของเรซินแตกต่างกัน และผลลัพธ์ที่มีเสถียรภาพที่สุดมาจากการปรับอัตราการเพิ่มอุณหภูมิและเวลาการแช่ให้เหมาะสมกับวัสดุ เมื่อมันถูกตั้งค่าแล้ว ระบบจะทำงานโดยมีการแทรกแซงน้อยที่สุด แต่คุณยังต้องมีการสอบเทียบเซ็นเซอร์เป็นระยะเพื่อให้สเปคความสม่ำเสมอยังคงอยู่ในระดับที่ยอมรับได้ในระยะยาว