บนพื้นที่ผลิต ความคลาดเคลื่อนของอุณหภูมิการอบเพียง 0.3°C ก็เพียงพอที่จะทำให้การควบคุมมิติเชิงวิศวกรรมผิดพลาดและต้องทิ้งงานจำนวนมาก เมื่อใช้งานซอฟต์เบคและฮาร์ดเบค คุณไม่ได้ต้องการแค่ความหวัง แต่ต้องการความสม่ำเสมอในการทำซ้ำ นั่นจึงเป็นเหตุผลที่เราออกแบบหลอดอินฟราเรดพร้อมรีเฟลกเตอร์ทองคำเพื่อสอดคล้องกับความเป็นจริงของกระบวนการ
สิ่งที่สำคัญภายใต้การทำงาน
แหล่งกำเนิดคือเครื่องปล่อยคลื่นสั้นอินฟราเรดในวัสดุควอตซ์ คู่กับรีเฟลกเตอร์เคลือบทองซึ่งช่วยรักษาพลังงานให้จดจ่อและลดการกระจายตัว ในแผ่นอบ เราตั้งเป้าความสม่ำเสมอของอุณหภูมิระดับเวเฟอร์ที่ ±0.1°C และความคงที่ของค่าตั้งเป้าอยู่ในช่วง ±0.5°C ภายใต้ภาระงาน การเปลี่ยนแปลงของขั้นตอนจะนิ่งภายใน 2 วินาที ทำให้สูตรการทำงานของคุณเป็นไปตามที่เขียนไว้ ผลลัพธ์คงที่ยาวนานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงของแสงสว่างและอุณหภูมิน้อยกว่า 5% ตัวซองหลอดเข้ากันได้กับที่ใส่หลอดมาตรฐาน และเทอร์มินัลบล็อกตรงกับการเดินสายเครื่องมือทั่วไป
เหตุผลที่สามารถใช้งานได้ในสายการผลิต
บนเส้นทางลิโธกราฟี หลอดนี้ช่วยรักษาโปรไฟล์ของโฟโตรีซิสต์ให้คงที่ ซึ่งช่วยเพิ่มความสม่ำเสมอของมิติเชิงวิศวกรรมและลดงานแก้ใหม่ ในการบรรจุภัณฑ์ หลอดส่งมอบการเคลือบให้ความร้อนภายใต้การควบคุมที่มีโปรไฟล์ความร้อนสะอาดซึ่งไม่ทำให้สารระเหยในตัวเติมหลุดออก รีเฟลกเตอร์ทองคำช่วยป้องกันความร้อนที่ไม่ต้องการไม่ให้กระจายสู่บริเวณรอบข้าง ทำให้ออปติกและเซนเซอร์ข้างเคียงอยู่ในงบประมาณความร้อนของตัวเอง
รองรับห้องปลอดเชื้อระดับ Class 1–100 โดยใช้วัสดุที่มีการปล่อยสารพิษต่ำและโครงสร้างที่ไม่ปล่อยอนุภาค พลังงานที่ใช้ลดลงเนื่องจากความร้อนถูกส่งไปยังตำแหน่งที่ต้องการ ไม่ใช่ไปทำให้เกิดความร้อนแฝงในห้อง
สิ่งที่ควรตรวจสอบเมื่อทำการติดตั้ง
ให้ความสนใจกับขั้วไฟฟ้าและการจัดแนวรีเฟลกเตอร์ การจัดแนวผิดจะทำให้เกิดจุดร้อนและการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิ หลอดทำงานที่อุณหภูมิสูง จึงต้องแน่ใจว่าอุปกรณ์ทนต่อภาระความร้อนและตรวจสอบระบบระบายความร้อนก่อนที่จะอนุมัติกระบวนการ กำหนดรอบการเปลี่ยนหลอดให้สอดคล้องกับช่วงเวลาบำรุงรักษาป้องกัน เพื่อป้องกันไม่ให้เกิดเวลาหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด