ในกระบวนการผลิตด้วยเทคโนโลยีลิธโกกราฟี แม้ว่าอุณหภูมิของหลอดไฟจะเปลี่ยนแปลงเพียง 0.5°C ระหว่างการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์ ก็อาจส่งผลให้ความกว้างของเส้นที่ได้ไม่เป็นไปตามมาตรฐานได้ และวงจรเหล่านั้นก็จะถูกคัดออกในขั้นตอนการตรวจสอบ ดังนั้นเราจึงสร้างชุดป้องกันทำจากแก้วควอตซ์ขึ้นมา เพื่อป้องกันไม่ให้อุณหภูมิของหลอดไฟเปลี่ยนแปลง
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราใช้แก้วควอตซ์ที่มีคุณสมบัติเหมาะสม โดยมีความสามารถในการนำพาแสงในย่านคลื่นอินฟราเรดสั้นและยาวได้อย่างมีเสถียรภาพ อีกทั้งยังมีค่าการขยายตัวทางอุณหภูมิที่ต่ำมาก เมื่อมีการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว แก้วควอตซ์นี้จะช่วยรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนพื้นผิวที่ใช้อบวัสดุไว้ที่ ±0.1°C ซึ่งช่วยให้กระบวนการอบวัสดุมีความสม่ำเสมอในทุกๆ ครั้ง ในห้องปลอดฝุ่นระดับ 1–100 วัสดุและการประกอบจะถูกออกแบบมาให้ไม่มีฝุ่นเกิดขึ้นเลย ไม่มีการสลายตัวของวัสดุ หรือมีก๊าซที่อาจก่อให้เกิดข้อบกพร่องได้ นอกจากนี้ จุดเชื่อมต่อและการปิดผนึกก็ถูกออกแบบมาให้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยไม่มีการรั่วไหลของแสงหรือจุดที่มีอุณหภูมิสูงเกินไป
เหตุใดจึงมีความสำคัญในกระบวนการผลิต ในกระบวนการผลิตด้วยเทคโนโลยีโฟโตรีซิสต์ ความสม่ำเสมอคือสิ่งสำคัญที่สุด หากสามารถรักษาอุณหภูมิของหลอดไฟให้คงที่ และสามารถควบคุมกระบวนการอบวัสดุได้อย่างแม่นยำ ก็จะช่วยลดความแปรปรวนของความกว้างของเส้นที่ได้ และลดการต้องแก้ไขข้อบกพร่องในภายหลัง นอกจากนี้ ชุดป้องกันยังช่วยให้อุณหภูมิอยู่ในระดับที่เหมาะสม ซึ่งช่วยลดการใช้พลังงานในแต่ละครั้งที่มีการอบวัสดุ และยังช่วยลดการต้องมีการแก้ไขปัญหาที่ไม่คาดคิดอีกด้วย
สิ่งที่ควรระวัง แก้วควอตซ์มีความเปราะ ดังนั้นควรปฏิบัติกับมันเหมือนเป็นชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำสูง ไม่ใช่วัสดุที่สามารถใช้ซ้ำได้ ควรหลีกเลี่ยงแรงกระแทกทางกล และปฏิบัติตามข้อกำหนดด้านแรงบิดและการจัดวางองค์ประกอบต่างๆ ของหลอดไฟอย่างเคร่งครัด ความเข้ากันได้ของแก้วควอตซ์กับอุปกรณ์ขึ้นอยู่กับรูปร่างของหลอดไฟ อุปกรณ์ที่ใช้ในการติดตั้ง และลักษณะของกระบวนการอบวัสดุในเครื่องจักรของคุณ ก่อนที่จะซื้อมาใช้ ควรตรวจสอบให้แน่ใจว่ามันเหมาะสมกับขนาดของอุปกรณ์และข้อกำหนดของห้องปลอดฝุ่นด้วย