Üretim katında, fırın sıcaklığında 0.3°C’lik bir sapma kritik boyut kontrolünü bozmak ve çok sayıda işlemi hurda yapmak için yeterlidir. Soft bake ve hard bake işlemlerini yürütürken umuda ihtiyacınız yok—tekrarlanabilirliğe ihtiyacınız var. Bu yüzden işlemin gerçekliğiyle uyumlu olacak şekilde altın reflektörlü infrared ampulü geliştirdik.
Motor kaputu altında önemli olanlar
Kaynak, kuartz içinde kısa dalga infrared yayıcıdır ve enerjiyi odaklayan ve saçılmayı azaltan altın kaplamalı reflektör ile eşleştirilmiştir. Fırın plakası boyunca, ±0.1°C wafer seviyesinde termal homojenlik hedeflenir ve setpoint kararlılığı yük altında ±0.5°C içinde kalır. Basamak değişiklikleri 2 saniyenin altında kararlı hale gelir, böylece reçeteniz yazıldığı şekilde çalışır. Çıkış, 5.000+ saat üzerinde sabit kalır; lümen ve sıcaklıkta %5’in altında düşüş gözlemlenir. Gövde standart lamba yuvalarına uyum sağlar ve terminal bloğu yaygın takım kablolamaları ile uyumludur.
Üretimde dayanıklılığının nedenleri
Litografi hatlarında, ampul fotoresist profillerini sıkı tutar, bu da CD homojenliğini artırır ve revizyonları azaltır. Paketlemede, kontrollü kür sağlarken alt dolgu uçucu maddelerinin dışarı atılmasını engelleyen temiz bir termal profil sunar. Altın reflektör çevresel ısının dağılmasını engeller, böylece yanındaki optikler ve sensörler kendi termal bütçeleri içinde kalır.
Cleanroom Class 1–100 düşük gaz çıkışı yapan malzemeler ve parçacık yaymaz yapısıyla desteklenir. Enerji tüketimi, ısı olması gereken yere yönlendirildiği için, oda içindeki parazitik ısıtmaya bağlı olarak düşer.
Montajda dikkat edilmesi gerekenler
Polarite ve reflektör hizalamasına dikkat edin—hizalama bozukluğu sıcak noktalar ve sıcaklık sapması olarak ortaya çıkar. Ampul yüksek sıcaklıkta çalışır, bu nedenle montaj aparatının termal yüke uygun olduğundan emin olun ve prosesi onaylamadan önce soğutmayı doğrulayın. Değişim döngüsünü planlı bakım aralıklarına göre organize edin, böylece beklenmedik arıza kaynaklı kesintilerden kaçının.