Як уникнути негативних наслідків: безпечне сушіння пластин MEMS
Реальність така: сушіння пластин датчиків MEMS після хімічної чистки схоже на гру з вогнем. Є елементи нагріву, які знаходяться прямо поруч із парами розчинників – які, щоб сказати прямо, є вибухонебезпечними. Неможливо просто поставити туди звичайну інфрачервону лампу та сподіватися на краще.
Саме тому ми зосереджуємося на енкапсулюванні. Ми фактично створюємо „фортецю“ навколо лампи, щоб вона не могла спричинити катастрофу.
Запобігання витокам
Щоб захистити електричні контакти від цих шкідливих газів, ми розміщуємо інфрачервону лампу в корпус, виготовлений з спеціалізованого скла чи кварцу, стійкого до хімічних речовин. Це своєрідна фізична перешкода. Потім ми герметизуємо кінці корпусу за допомогою керамічних або епоксидних матеріалів. Чому потрібно докладати стільки зусиль? Тому що якщо герметизація завдасть проблем, пари потраплять на електричні контакти. Одна іскра – і все може закінчитися погано. Ми приділяємо багато уваги цим витокам, щоб вони залишалися закритими.
Тепло, іскри та проводка
Ми використовуємо технологію короткохвильового інфрачервоного випромінювання – це більш ефективно. Це дозволяє передавати тепло безпосередньо на поверхню пластини, а не лише нагрівати повітря навколо неї. Це дозволяє підтримувати температуру нижче температури спалаху розчинників.
Ми також не експериментуємо з проводкою. Використовуємо оболонки з PTFE чи PFA. Стандартний PVC просто розтопиться чи буде руйнований, що призведе до оголених проводів. Це шлях, якого не варто обирати.
Один корисний порада: переконайтеся, що система відводу повітря справно функціонує. Навіть за наявності ідеального енкапсулювання, напівстоячі об’єми розчинників становлять велику загрозу. необхідно підтримувати рух повітря.
Стабільна робота
Найкраща перевага такого корпусу полягає у тому, що він захищає філамент від хімічного впливу. Це означає, що лампи прослужать довше. Ми також використовуємо міцні з’єднувачі, адже системи транспортування пластин схильні до вібрацій, і ми не хочемо, щоб щось відривалося.
Ці з’єднувачі розроблені для легкої заміни. Але є одна умова: потрібно щоразу перевіряти цілісність герметизації. Якщо у корпусі є тріщини, рівень безпеки значно знижується.
Нам також потрібно знайти правильний баланс між потужністю та безпекою. Висока температура прискорює процес сушіння – що є плюсом для продуктивності – але це також підвищує навантаження на герметизацію. Ми підбираємо потужність так, щоб герметизація не пошкоджувалася з часом. Йдеться про знаходження оптимального балансу між швидкістю та безпекою.