На виробничій лінії саме під час процедури висушування після експозиції визначається якість контролю критичних розмірів. Навіть незначне зміщення на півградуса може призвести до того, що ширина ліній на пластині опиниться у діапазоні продуктів з незадовільною якістю. У такому разі години роботи з експозицією та обробкою пропадають даремно. Саме тому наші нагрівачі PEB розроблені так, щоб забезпечувати стабільні умови температури протягом усього процесу.
Що є важливим?
Ми використовуємо низьковолнові інфрачервоні випромінювачі з кварц-галогенним джерелом світла. Це дозволяє енергії швидко та ефективно потрапляти в шар фотополімеру. Таким чином досягається температурна однорідність на всій поверхні пластини – до рівня ±0,1°C. Повторюваність результатів забезпечується завдяки замкнутому контуру контролю, сенсорам високої роздільної здатності та системі, яка швидко стабілізується без перегріву. Установки працюють у чистих кімнатах класу 1–100, тож під час процедури висушування не утворюється жодних частинок, що дозволяє зберігати кількість дефектів на мінімальному рівні.
У процесі літографії температура PEB впливає на хімічне посилення та кінцеву ширину ліній. Нагрівач швидко нагріває фотополімер, підтримує стабільну температуру та ефективно охолоджує його. Це дозволяє зберігати стабільні умови протягом усього процесу. Таким чином досягається більш швидкий цикл висушування без втрати якості продукції. Крім того, завдяки ефективному використанню інфрачервоного випромінювання зменшується споживання енергії, а також кількість непланових зупинок процесу. Результатом є стабільний контроль критичних розмірів та значне зменшення відхилень, спричинених температурними факторами.
Якщо не планувати все правильно, можуть виникнути проблеми під час встановлення обладнання – воно мусить відповідати геометрії станції висушування, інтерфейсу обладнання та системі відведення повітря. Існують кітами для модернізації, але толеранції щодо точності встановлення є дуже високими – інакше може виникнути проблема з однорідністю температури.
Обладнання працює найкраще, коли відбивність камери та випромінюваність пластини залишаються стабільними. Якщо змінити покриття чи носії, температурний профіль зміниться, що потребує корекції. Починаючи роботу, необхідно створити багатопунктну карту температур, щоб визначити базові параметри. Після цього система буде підтримувати стабільні умови.