На поверхні для літографії температура є не просто ще одним параметром – вона є самою суттю процесу. Зміна температури на 2°C під час процедури „м’якого випалювання“ призводить до зміни товщини фотополімеру; навіть незначна зміна температури під час процедури „жорсткого випалювання“ може порушити стандарти контролю критичних розмірів. Пластини постійно рухаються, печі не зупиняються, а тепловий баланс вимагає максимальної точності.
Що є важливим у цьому процесі
Ми створили систему зонованого нагріву, яка складається з окремих термічних сегментів, кожен з яких контролюється дуже точно. Мета полягає у тому, щоб ефективно контролювати температуру в окремих зонах, не допускаючи при цьому значних змін температури на всій поверхні пластини. Елементи на основі короткохвильового галогену забезпечують швидку реакцію, а система замкнутого контролю дозволяє підтримувати однорідність температури на рівні ±0,1°C протягом усього процесу випалювання.
Система працює у чистих помешканнях класу 1–100, і її конструкція передбачає уникнення появи частинок: матеріали з низьким рівнем викидів, запечатані кварцеві/керамічні інтерфейси та правильна організація потоку повітря дозволяють підтримувати низький рівень частинок навіть під час тривалого випалювання. Важлива також повторюваність процесу – кожен етап випалювання відбувається за однаковими параметрами.
Чому це ефективно на реальних виробництвах
На великомасштабних виробництвах пластин зонований нагрів дозволяє ефективно контролювати температурні коливання. Це сприяє стабільності процесу обробки фотополімеру, що зменшує кількість відходів та необхідність переробки продукції. Інженери можуть контролювати розміри пластин, кути їх поверхні та товщину залишкового шару фотополімеру.
Ця ж точність дозволяє зменшити витрати енергії, оскільки не потрібно компенсувати надмірне нагрівання. Компоненти призначені для цілодобової роботи з передбачуваними періодами технічного обслуговування, що значно зменшує кількість несподіванок та часу простою обладнання.
Що потрібно зробити правильно
Зонований нагрів буде ефективним лише тоді, коли температурний розподіл відповідатиме структурі пластини та послідовності процесу випалювання. Потрібно правильно спланувати кількість та розташування зон нагріву відповідно до геометрії пластини та параметрів процесу. Також необхідно переконатися, що потік повітря та системи відведення газів працюють належним чином, щоб забезпечити належний рівень чистоти у чистих помешканнях.
Установка такої системи є простою на більшості виробничих ліній, але перед тим, як почати модернізацію, необхідно переконатися, що механічні характеристики обладнання та інтерфейси відповідають вимогам.