فیبرکیٹ فلور پر، ایکسپوزر کے بعد ہونے والی بیکنگ کے دوران ہی اہم پیمائشی معیارات قائم ہوتے ہیں۔ ویفر پر آدھے ڈگری کا فرق بھی لائن ویڈتھ کو ناقابل قبول سطح تک لے جانے کے لئے کافی ہے؛ اس صورت میں گھنٹوں کی محنت بیکار جاتی ہے۔ اسی لئے ہمارے PEB ہیٹرز ایسے ہی ڈیزائن کئے گئے ہیں کہ وہ ہر شفٹ میں درجہ حرارت کو مستحکم رکھ سکیں۔
جو چیز اہم ہے…
ہم شارٹ-ویو انفراریڈ ایمیٹرز استعمال کرتے ہیں، جن کا سورس پروفائل کوارٹز-ہیلوجن پر مبنی ہے؛ اس طرح توانائی تیزی سے اور صحیح طریقے سے فوٹوریزسٹ پر پہنچتی ہے۔ بیکنگ زون میں درجہ حرارت میں سب-ملی میٹر کی سطح تک یکسانیت ہوتی ہے، اور ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی استحکامیت ±0.1°C ہوتی ہے۔ کنٹرول لوپ میں بار باری کو یقینی بنانے کے لئے کلوزڈ-لوپ فیڈبیک، اعلیٰ ریزولوشن والے سینسرز، اور ایسا تھرمل ماس استعمال کیا گیا ہے جو جلدی ہی مستحکم ہو جاتا ہے۔ یہ یونٹ کلاس 1–100 کے کلین رومز میں استعمال ہوتا ہے، اور بیکنگ کے دوران کوئی ذرہ بھی پیدا نہیں ہوتا؛ اس طرح خرابیوں کی تعداد صفر رہتی ہے۔
لیتھوگرافی میں، PEB کا درجہ حرارت ہی کیمیائی عملوں اور لائن ویڈتھ کو متعین کرتا ہے۔ یہ ہیٹر تیزی سے ریزسٹ پر اثر کرتا ہے، اسے مستحکم رکھتا ہے، اور مناسب طریقے سے ٹھنڈا کرتا ہے؛ اس طرح پروسیس کا معیار ہر بار یکساں رہتا ہے۔ اس سے بیکنگ کا عمل تیز ہو جاتا ہے، توانائی کی کھپت کم ہو جاتی ہے، اور غیرمتوقع رکاوٹیں بھی کم ہو جاتی ہیں، کیوں کہ ایمیٹرز اور فکسچرز 24/7 کام کرنے کے لئے ڈیزائن کئے گئے ہیں۔ نتیجے کے طور پر، پیمائشی معیارات یکساں رہتے ہیں، اور درجہ حرارت سے متعلق مسائل بھی کم ہو جاتے ہیں۔
اگر منصوبہ بندی نہ کی جائے، تو مشکلات پیش آتی ہیں: انسٹالیشن کے دوران بیکنگ اسٹیشن کی ساخت، ٹولز کا انٹرفیس، اور ایگزاسٹ سسٹم کو مدنظر رکھنا ضروری ہے۔ ریٹروفٹ کٹس دستیاب ہیں، لیکن الائنمنٹ کی حدود بہت سخت ہیں؛ ورنہ یکسانیت متاثر ہو جاتی ہے۔
یہ یونٹ اسی صورت میں بہترین کارکردگی دیتا ہے، جب چیمبر کی ریفلیکٹیوٹی اور ویفر کی ایمیسیویٹی مستحکم رہتی ہے۔ اگر کوٹنگز تبدیل کی جائیں یا کیریئرز تبدیل کئے جائیں، تو تھرمل پروفائل میں تبدیلی آ جاتی ہے، جس کی وجہ سے دوبارہ کیلیبریشن کی ضرورت پڑتی ہے۔ بیس لائن کو متعین کرنے کے لئے ملٹی-پوائنٹ تھرمل میپ کا استعمال کیا جاتا ہے؛ اس کے بعد سسٹم مستحکم رہتا ہے۔