Hãy ngừng việc sưởi ấm toàn bộ máy móc lại, và thay vào đó hãy sử dụng chúng để sưởi ấm các tấm wafer thôi. Nếu bạn từng làm việc với các tấm wafer bán dẫn, bạn chắc hẳn hiểu rõ những khó khăn trong công việc này. Bạn cần làm cho tấm wafer nóng lên, nhưng lại không muốn khiến các thiết bị đắt tiền khác trở thành những “máy sưởi” khổng lồ.
Hầu hết các loại máy sưởi thông thường chỉ có tác dụng lan tỏa nhiệt ra mọi hướng. Chúng biến các bức tường bên trong máy thành những “bộ nguồn nhiệt”, gây lãng phí năng lượng khổng lồ. Điều tồi tệ nhất là chúng khiến vỏ máy trở nên quá nóng, đến mức có thể gây bỏng cho người vận hành. Thật là một tình trạng tồi tệ.
Đây là cách chúng tôi giải quyết vấn đề này. Chúng tôi sử dụng các bóng đèn tia hồng ngoại ngắn sóng. Thay vì cố gắng làm ấm không khí (điều này diễn ra chậm và kém hiệu quả), những bóng đèn này truyền năng lượng trực tiếp vào bề mặt tấm wafer. Chúng tôi sử dụng các bộ phản xạ và vỏ bọc bằng thạch anh để giữ cho năng lượng được tập trung vào mục tiêu cần thiết.
Về cơ bản, nhiệt lượng được truyền đến đúng nơi cần thiết. Tấm wafer nhận được năng lượng cần thiết, còn vỏ máy thì không bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ cao.
Tại sao điều này lại quan trọng đối với quy trình sản xuất của bạn? Khi chọn những bóng đèn này, chúng tôi tìm kiếm những loại bóng đèn có mật độ nhiệt cao trong một không gian nhỏ. Vì tia hồng ngoại ngắn sóng có thể xuyên vào vật liệu một cách nhanh chóng, nên thời gian cần thiết để làm nóng tấm wafer sẽ giảm đáng kể.
Và vì năng lượng được tập trung vào một điểm cụ thể, bạn sẽ không phải đối phó với tình trạng nhiệt độ quá cao bên trong máy nữa. Môi trường bên trong máy sẽ trở nên mát mẻ hơn.
Nhược điểm (vì luôn có nhược điểm): Đây không phải là phép màu. Đó chỉ là quy luật vật lý thôi. Vì năng lượng được tập trung quá mức, nên bạn cần chú ý đến khả năng chịu đựng nhiệt độ cao của vật liệu sử dụng. Nếu không, tấm wafer có thể bị nứt hoặc biến dạng.
Ngoài ra, nếu bộ điều khiển PID của bạn không được điều chỉnh phù hợp với tốc độ phản ứng của những bóng đèn này, bạn sẽ vượt qua mức nhiệt độ mong muốn. Bạn cần phải thật chính xác trong việc điều chỉnh nhiệt độ.
Chúng tôi đã thiết kế những hệ thống này để thay thế những bộ sưởi cũ kỹ, kém hiệu quả đó. Việc chuyển sang sử dụng hệ thống này sẽ giúp hệ thống làm mát của nhà máy không cần phải hoạt động quá nhiều nữa.
Và đội ngũ bảo trì của bạn? Họ chắc chắn sẽ biết ơn bạn vì đã giúp máy móc trở nên an toàn hơn.