Ngăn chặn những sự cố nguy hiểm: Khử nước trên các tấm wafer MEMS một cách an toàn
Thực tế là việc khử nước trên các tấm wafer cảm biến MEMS sau quá trình làm sạch bằng hóa chất giống như việc chơi với lửa vậy. Các bộ phận gia nhiệt nằm ngay gần các hơi dung môi – những chất có tính nổ cao. Bạn không thể đơn giản chỉ dùng đèn hồng ngoại thông thường trong môi trường này được.
Đó là lý do tại sao chúng tôi chú trọng đến việc bảo vệ các bộ phận này. Chúng tôi tạo ra một “pháo đài” bao quanh đèn hồng ngoại để ngăn chặn mọi nguy cơ xảy ra.
Ngăn chặn sự rò rỉ
Để ngăn các khí độc hại tiếp xúc với các đầu nối điện, chúng tôi đặt đèn hồng ngoại vào một vỏ bằng thủy tinh đặc biệt hoặc thạch anh chịu được tác động của hóa chất. Đó là một rào cản vật lý đơn giản nhưng hiệu quả. Sau đó, chúng tôi niêm phong các đầu nối bằng vật liệu gốm hoặc keo epoxy chịu nhiệt cao. Tại sao phải làm như vậy? Bởi vì nếu lớp niêm phong bị hỏng, các hơi dung môi sẽ tiếp xúc với các đầu nối điện. Chỉ cần một tia lửa nhỏ thôi cũng đủ gây ra thảm họa. Chúng tôi dành nhiều thời gian để đảm bảo rằng các lỗ rò rỉ được khép kín.
Nhiệt độ, tia lửa và dây dẫn
Chúng tôi sử dụng công nghệ hồng ngoại sóng ngắn vì nó hiệu quả hơn. Công nghệ này giúp truyền nhiệt trực tiếp lên bề mặt wafer, thay vì làm nóng không khí xung quanh. Nhờ đó, nhiệt độ môi trường sẽ ở mức thấp hơn nhiều so với điểm bốc cháy của các chất tẩy rửa.
Chúng tôi cũng không sử dụng dây dẫn thông thường. Thay vào đó, chúng tôi sử dụng vỏ bọc bằng PTFE hoặc PFA. Vỏ bọc bằng PVC thông thường sẽ bị nóng chảy hoặc bị phá hủy, khiến dây dẫn bị lộ ra ngoài. Đó là con đường nguy hiểm mà chúng ta không nên chọn.
Một mẹo nhỏ: Hãy đảm bảo rằng hệ thống thông gió hoạt động tốt. Ngay cả khi có lớp bảo vệ tốt, những vùng khí tồn đọng vẫn là nguy cơ lớn. Hãy giữ cho không khí luôn lưu thông.
Đảm bảo hoạt động ổn định
Ưu điểm lớn nhất của lớp bảo vệ này là nó giúp bảo vệ sợi dây tóc của đèn khỏi sự ăn mòn của hóa chất. Điều này giúp đèn hoạt động lâu hơn. Chúng tôi cũng sử dụng các đầu nối được gia cố vững chắc, vì hệ thống vận chuyển wafer thường xuyên bị rung động, và chúng tôi không muốn các đầu nối bị lỏng lẻo.
Những bộ phận này được thiết kế để dễ dàng thay thế. Nhưng có một điều quan trọng: bạn phải kiểm tra độ kín của lớp bảo vệ mỗi lần thay thế đèn. Nếu có vết nứt trên lớp bảo vệ, mức độ an toàn của đèn sẽ bị ảnh hưởng nghiêm trọng.
Chúng tôi cũng phải cân nhắc kỹ về công suất của đèn. Nhiệt độ cao sẽ giúp quá trình khử nước diễn ra nhanh hơn – điều này rất tốt cho hiệu suất làm việc – nhưng nó cũng gây áp lực lớn lên lớp bảo vệ. Chúng tôi cân bằng công suất để lớp bảo vệ không bị hư hỏng theo thời gian. Mục tiêu cuối cùng là tìm được sự cân bằng giữa tốc độ và an toàn.