Trên dây chuyền in ấn, nếu nhiệt độ của bóng đèn tăng lên chỉ 0,5°C trong quá trình sấy phim fotoresist, điều này có thể khiến độ rộng của các đường nét in bị sai lệch so với tiêu chuẩn. Những wafer bị ảnh hưởng sẽ bị loại bỏ trong quá trình kiểm tra. Chúng tôi đã chế tạo ra lớp bảo vệ bằng thạch anh để ngăn chặn sự biến đổi nhiệt độ này ngay từ đầu.
Điều quan trọng cần lưu ý
Chúng tôi sử dụng thạch anh kết dính, vì chất liệu này có khả năng truyền ánh sáng ổn định ở bước sóng ngắn và trung bình, đồng thời có độ giãn nở nhiệt thấp khi nhiệt độ thay đổi nhanh. Chất liệu này giúp duy trì độ đồng đều về nhiệt độ trên bề mặt wafer ở mức ±0,1°C, giúp quy trình sấy diễn ra ổn định từ lô này sang lô khác. Trong môi trường phòng sạch loại 1–100, chất liệu và cấu trúc của thạch anh được thiết kế sao cho không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào – không có hiện tượng bong tróc hay tồn dư khí gây ra các khiếm khuyết trên wafer. Các điểm nối và cấu trúc đóng kín cũng được thiết kế sao cho có thể hoạt động 24/7 mà không xảy ra hiện tượng rò rỉ ánh sáng hay điểm nóng.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quá trình sản xuất
Trong quy trình xử lý phim fotoresist, tính lặp lại là yếu tố quyết định chất lượng sản phẩm. Nếu nhiệt độ phát ra từ bóng đèn ổn định và quy trình sấy có thể dự đoán được, thì sự biến đổi về độ rộng của các đường nét in sẽ được kiểm soát tốt hơn. Điều này giúp giảm số lần phải sửa chữa và tăng độ chính xác trong quy trình sản xuất. Lớp bảo vệ bằng thạch anh cũng giúp giữ nhiệt ở mức cần thiết, từ đó giảm mức tiêu thụ năng lượng cho mỗi lô sản phẩm. Ngoài ra, việc sử dụng thạch anh còn giúp giảm số lần can thiệp không mong muốn, vì sự biến đổi nhiệt độ sẽ không còn là vấn đề nữa.
Những điều cần lưu ý
Thạch anh rất giòn. Vì vậy, cần coi nó như một thành phần quan trọng, chứ không phải vật tư có thể thay thế được. Cần tránh va chạm cơ học, đồng thời tuân thủ các thông số kỹ thuật liên quan đến lực xoắn và việc lắp đặt bóng đèn. Tính tương thích của thạch anh phụ thuộc vào cấu trúc của bóng đèn, phụ kiện lắp đặt, cũng như quy trình xử lý nhiệt của máy móc. Trước khi mua, hãy kiểm tra xem thạch anh có phù hợp với kích thước thiết bị và các yêu cầu của phòng sạch hay không.