Trong quá trình sản xuất, hiện tượng dịch chuyển nhiệt không xảy ra ở các biển hiệu neon. Tuy nhiên, hiện tượng này lại làm mất kiểm soát độ rộng của đường kẻ trên bề mặt wafer, làm giảm chất lượng sản phẩm, và biến quá trình nung ổn định thành một yếu tố không thể dự đoán được. Trong công nghệ in ấn và đóng gói, việc kiểm soát nhiệt độ trong quá trình xử lý hóa chất bảo vệ bề mặt wafer rất quan trọng. Nếu bộ phận gia nhiệt trong lò nung không hoạt động hiệu quả, điều đó sẽ dẫn đến những hậu quả như sự không đồng đều về kích thước wafer, sự xuất hiện của các khuyết tật trên bề mặt wafer, và phải tiến hành tái xử lý.
Điều mà chúng tôi chú trọng trong quá trình thiết kế là việc kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác: độ đồng đều nhiệt độ khoảng ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer, khả năng ổn định nhiệt độ nhanh sau khi cửa lò mở hoặc đóng, và khả năng lặp lại quy trình một cách chính xác. Bộ phận gia nhiệt được thiết kế để sử dụng trong môi trường phòng sạch, phù hợp với môi trường có mức độ sạch từ Class 1 đến Class 100. Ngoài ra, bộ phận này còn được thiết kế sao cho không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào trong quá trình hoạt động. Nhiệt độ được duy trì ổn định qua hàng ngàn chu kỳ, giúp quy trình nung diễn ra một cách đều đặn. Công suất cung cấp năng lượng được điều chỉnh sao cho phù hợp với khối lượng của lò nung, nhằm giảm thiểu sự dao động nhiệt độ. Hình dạng của bộ phận gia nhiệt cũng được thiết kế để loại bỏ những vùng nóng thường xuất hiện ở gần cửa lò và các góc của lò.
Trên thực tế, điều này rất quan trọng vì quá trình xử lý hóa chất bảo vệ bề mặt wafer rất nhạy cảm với nhiệt độ. Việc kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác giúp kiểm soát sự bay hơi của dung môi và áp lực lên bề mặt wafer. Nếu bộ phận gia nhiệt có thể duy trì nhiệt độ ổn định, thì độ dày của lớp hóa chất bảo vệ bề mặt wafer sẽ được kiểm soát tốt hơn, giảm thiểu khuyết tật ở các cạnh wafer, và giảm lượng sản phẩm phải bị loại bỏ. Kết quả là tỷ lệ sản phẩm đạt chất lượng cao sẽ tăng lên, và số lượng sản phẩm cần được kiểm tra lại sẽ giảm đi. Chúng tôi cũng giảm mức tiêu thụ năng lượng bằng cách loại bỏ những sự dao động không cần thiết và làm mượt quá trình chuyển đổi từ trạng thái nghỉ sang trạng thái nung. Độ tin cậy của bộ phận gia nhiệt đã được chứng minh qua việc hoạt động 24/7 mà không có sự dao động nhiệt độ đáng kể.
Khi lắp đặt, bạn cần đảm bảo rằng điện áp, loại kết nối và khối lượng nhiệt của bộ điều khiển lò nung phù hợp với bộ phận gia nhiệt. Những yếu tố không phù hợp sẽ gây ra hiện tượng gia nhiệt không đồng đều, làm giảm tuổi thọ của bộ phận gia nhiệt. Bạn cũng cần lên kế hoạch cho dòng khí và khoảng cách giữa các bộ phận để tránh tình trạng gia nhiệt ở các vùng xung quanh bộ phận gia nhiệt. Và hãy nhớ rằng, mặc dù bộ phận gia nhiệt có thể sử dụng trong môi trường phòng sạch, nhưng môi trường xung quanh lò nung vẫn rất quan trọng. Hãy đảm bảo rằng bề mặt lò nung không chứa bất kỳ chất cặn nào có thể thoát ra và gây ra các hạt bụi trên bề mặt wafer.