http://warm-ir-factory.com/bn/tags/exposure/ Recent content in Exposure on The Warm IR Heating Factory Hugo bn Fri, 26 Jun 2026 01:43:45 +0800 http://warm-ir-factory.com/bn/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Fri, 26 Jun 2026 01:43:45 +0800 http://warm-ir-factory.com/bn/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="পোস্ট এক্সপোজার বেক (PEB) হিটার"></p> <p>ফ্যাব ফ্লোরে, এক্সপোজার-পরবর্তী বেকিং প্রক্রিয়াটিই হলো সঠিক ডাইমেনশন নিয়ন্ত্রণের চাবিকাঠি। ওয়েফারে অর্ধ-ডিগ্রিরও কম পরিবর্তনই লাইনওয়াইডনেসকে “রিজেক্ট” ক্যাটাগরিতে নিয়ে যেতে পারে; ফলে ঘণ্টার পর ঘণ্টা ধরে করা এক্সপোজার ও ইথ প্রক্রিয়াগুলো বৃথা হয়ে যায়। এই কারণেই আমাদের PEB হিটারগুলো এমনভাবে ডিজাইন করা হয়েছে যাতে থার্মাল ব্যালেন্স ধরে থাকে।</p> <p><strong>কী গুরুত্বপূর্ণ?</strong><br> আমরা কোয়ার্টজ-হ্যালোজেন সোর্স ব্যবহার করে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার ব্যবহার করি; যাতে শক্তি দ্রুত ও সঠিকভাবে ফটোরেসিস্ট স্ট্যাকে পৌঁছায়। বেকিং জোনে সাব-মিলিমিটার স্তরে থার্মাল ইউনিফর্মিটি থাকে; আর ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে। কন্ট্রোল লুপে রিপিটেবিলিটি নিশ্চিত করা হয়েছে—ক্লোজড-লুপ ফিডব্যাক, উচ্চ-রেজোলিউশনের সেন্সর, এবং দ্রুত থার্মাল ব্যালেন্স পুনরুদ্ধার করার ব্যবস্থা রয়েছে। এটা ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে ব্যবহৃত হয়; ফলে বেকিং প্রক্রিয়ায় কোনো ধূলিকণা যোগ হয় না। ফলে ডিফেক্টের সংখ্যা শূন্যের কাছাকাছি থাকে।</p>