http://warm-ir-factory.com/cs/tags/modul%C3%A1rn%C3%AD/ Recent content in Modulární on The Warm IR Heating Factory Hugo cs Mon, 22 Jun 2026 19:27:16 +0800 http://warm-ir-factory.com/cs/posts/modular-infrared-heating-array/ Mon, 22 Jun 2026 19:27:16 +0800 http://warm-ir-factory.com/cs/posts/modular-infrared-heating-array/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Modulární infračervený topný systém"></p> <p>V oblasti litografie nejsou procesy měkkého a tvrdého zahřívání jen „kroky“ v procesu výroby. Jsou to závazky, které musíme dodržovat. Odchylka teploty fotoresistu o 2 °C může způsobit změnu kritické dimenze o několik nanometrů. Jediná částice uvolněná během zahřívání může zničit <a href="https://goldisgood.com">desku</a> o velikosti 300 mm. Proto jsme vyvinuli modulární infračervené ohřívací zařízení, které odpovídá těmto požadavkům.</p> <p><strong>Co je z hlediska technologie důležité</strong><br> Používáme emitory v blízkém infračerveném spektru v modulárním uspořádání. Díky tomu je hustota napětí řízena v jednotlivých zónách, nikoliv v celé ploše ohřívací desky. Výsledkem je rovnoměrnost teploty na úrovni desky v rozmezí ±0,1 °C během celého procesu. Tato hodnota je sledována pomocí termočlánků a ověřována s použitím senzorů s korekcí emisivity. Reakce zařízení je rychlá – takže při změně parametrů nedochází k nadměrnému zahřívání. Hardware je vhodný pro provoz v čistých prostorách až do třídy 1 – uzavřené pouzdro, materiály s nízkou emisí, žádné odhalené prvky. Množství částic zůstává nízké a opakovatelnost procesu je zaručena díky uzavřenému regulačnímu okruhu a pevné geometrii emitorů.</p>