Warum Sie aufhören sollten, die Luft in Ihrem Reinraum zu erhitzen
Wenn Sie weiterhin Druckluftöfen für die Bearbeitung von Halbleitern verwenden, zahlen Sie im Grunde jeden Tag eine „Zeitsteuer“. Ich sehe das ständig: Die Betriebe nutzen diese riesigen Systeme zur Erzeugung von heißer Luft – dabei wird die Hälfte der Energie darauf verwendet, die Luft sowie die Wände des Raumes zu erwärmen, bevor überhaupt etwas mit dem eigentlichen Werkstück passiert.
Das ist Verschwendung.
Der Geschwindigkeitsunterschied ist enorm.
Denken Sie daran, wie Druckluft funktioniert: Sie bewegt sich langsam. Sie muss die Wärme von der Luft in das Werkstück transportieren. Bei Infrarotstrahlung ist das anders: Es handelt sich dabei um elektromagnetische Strahlung, die mit der Lichtgeschwindigkeit unterwegs ist und direkt das Ziel erreicht.
Man muss nicht warten, bis der Thermostat einen bestimmten Wert erreicht hat. Man schaltet einfach den Schalter ein – und schon funktioniert es. Im Reinraum bedeutet das, dass die Aufwärmzeit von Minuten auf Sekunden sinkt. Das ist ein großer Vorteil für den Arbeitsablauf.
Weniger Wind, weniger Staub.
Außerdem gibt es noch das Problem der Kontamination. Um Wärme in einem herkömmlichen Ofen zu erzeugen, muss man viel Luft bewegen – dadurch entstehen Turbulenzen. Im Reinraum bedeutet das einfach: Staub und Partikel fliegen überall herum.
Infrarotheizer haben keine Lüfter und keine Leitungen. Es gibt keine beweglichen Teile, keinen Wind. Dadurch wird die Fläche, die der Heizer einnimmt, deutlich kleiner – außerdem werden die größten Quellen für luftgetragene Partikel beseitigt. Es fühlt sich einfach sauberer an.
Aber es gibt auch Nachteile…
Infrarotstrahlung ist zwar mächtig – doch sie wirkt sehr intensiv. Wenn Ihre Sensoren oder der PID-Regler nicht schnell genug reagieren, können Sie die gewünschte Temperatur überschreiten, bevor Sie es überhaupt merken. Ein Fehler kann dazu führen, dass Ihre Wafer beschädigt werden.
Aber wenn Ihr Hauptproblem die Geschwindigkeit ist – wenn Sie versuchen, Hunderte von Bauteilen pro Stunde zu bearbeiten – dann sollten Sie aufhören, Zeit mit dem Erhitzen der Luft zu verschwenden. Heizen Sie einfach das Werkstück selbst.