Reflektor on The Warm IR Heating Factory

Aluminium Reflektor für IR Lampe

Wed, 22 Jul 2026 02:52:09 +0800

Hören Sie auf, auf heiße Luft zu warten – warum Infrarot-Heizung die bessere Lösung für die Halbleiterverarbeitung ist
Seien wir ehrlich: Die Zirkulation von heißer Luft ist zeitaufwendig und ineffizient. Man wartet einfach darauf, dass die Luft heiß wird – und anschließend muss man noch darauf warten, dass diese Luft das Halbleitermaterial erwärmt. In der Welt der Halbleiterverarbeitung sind diese verschwendeten Minuten nicht nur ärgerlich – sie kosten auch echtes Geld.

Wir haben beschlossen, auf das Erhitzen der Luft zu verzichten und stattdessen direkt das jeweilige Bauteil zu heizen. Dafür werden Infrarot-Heizmethoden sowie präzise Aluminiumreflektoren eingesetzt.

Reflektor für Wafern Aushärtungslampe

Mon, 13 Jul 2026 17:16:03 +0800

Hören Sie auf, zuzulassen, dass Lampenversagen Ihre Wafer-Batches zerstört!
Hier ist das Albtraumszenario: Sie führen eine Prozessschritt mit hoher Belastung durch – plötzlich platzt eine Quarzröhre. Das bedeutet nicht nur Stillstand, sondern auch, dass Glassplitter und Wolframfäden direkt auf die Wafer fallen. In kürzester Zeit ist Ihr ganzer Batch nutzlos geworden.
Es ist ein Chaos – doch das kann vollständig vermieden werden.
Wir lösen dieses Problem, indem wir einen speziellen Reflektor einsetzen. Stellen Sie sich dazu einen physischen Schutzschild vor, der zwischen der Lampe und Ihren Wafern liegt.
Wie es funktioniert
Die meisten Menschen denken, dass Reflektoren nur dazu dienen, das Infrarotlicht zurück zum Substrat zu leiten. Das stimmt zwar, aber wir haben diesen Reflektor so konzipiert, dass er die Lampe vollständig umhüllt.
Falls eine Röhre platzt, fängt der Reflektor die Trümmer auf. Dadurch bleiben die Partikel außerhalb der Prozesskammer. Anstelle einer Katastrophe, die Ihren Tag ruiniert, bleibt alles sauber – keine zerstörten Wafer.
Bessere Wärmeabgabe, weniger Stress
Wir verwenden hochreines Aluminium mit einer speziellen Beschichtung, um die Reflexion des Kurzwellen-Infrarotlichts zu verbessern.
Das Tolle daran: Dadurch erhöht sich die Wärmedichte auf der Oberfläche der Wafer. Da die Wärme besser konzentriert wird, kann man die Leistung der Lampe senken, ohne dass das Ergebnis beeinträchtigt wird. Wenn die Lampe nicht so heiß arbeiten muss, entsteht weniger Stress auf dem Quarz – dadurch bricht die Lampe viel seltener.
Die realistischen Kompromisse
Nichts ist perfekt. Durch den Zusatz eines physischen Schutzes zwischen Lichtquelle und Zielobjekt ändert sich das Strahlungsmuster etwas im Vergleich zu einer normalen Lampe.
Sie müssen etwas Zeit investieren, um die Fokallänge richtig einzustellen, damit die Wärme gleichmäßig auf allen Wafern verteilt wird. Achten Sie außerdem darauf, dass die Kühlventilatoren geeignet sind – sonst kann sich Wärme im Gehäuse ansammeln, was die Lebensdauer der Lampe verringert.
Aber wenn alles richtig eingestellt ist, ist es ganz einfach.
Wir bauen diese Geräte für 24/7-Produktionen. Man verbindet sie mit der Stromversorgung, stellt die PID-Steuereinheiten ein – und der Reflektor übernimmt den Rest. So wird ein katastrophaler Defekt in einen einfachen Austausch der Lampe verwandelt.

Infrarotlampe mit goldbeschichtetem Reflektor

Sat, 06 Jun 2026 01:27:36 +0800

Auf dem Fertigungsboden reicht eine Drift von 0,3 °C bei der Backtemperatur aus, um die Kontrolle der kritischen Abmessungen zu beeinträchtigen und viele Bauteile als Ausschuss zu deklarieren. Bei Soft Bake und Hard Bake ist Hoffen nicht ausreichend – Wiederholgenauigkeit ist notwendig. Deshalb haben wir die Infrarotlampe mit einem Goldreflektor gebaut, der der Prozessrealität entspricht.

Wesentliches unter der Haube
Die Quelle besteht aus einem kurzwelligen Infrarotstrahler in Quarz, kombiniert mit einem goldplattierten Reflektor, der die Energie fokussiert und Streuungen minimiert. Über die Backplatte streben wir eine thermische Gleichmäßigkeit auf Wafer-Ebene von ±0,1 °C an, und die Sollwertstabilität bleibt unter Last innerhalb von ±0,5 °C. Sprungänderungen glätten sich in unter 2 Sekunden ab, sodass das Rezept exakt wie programmiert läuft. Die Leistung bleibt über mehr als 5.000 Stunden konstant, mit weniger als 5 % Lumen- und Temperaturabfall. Das Gehäuse passt in Standardlampenfassungen, und der Anschlussblock ist kompatibel mit gängigen Werkzeugverkabelungen.