Sensor on The Warm IR Heating Factory

Präziser IR Sensor für Wafer

Sat, 25 Jul 2026 02:55:50 +0800

Hören Sie auf, Zeit mit dem Erwärmen der Luft in der Halbfertigungsphase zu verschwenden!
Seien wir ehrlich: Es ist einfach zu langsam, heiße Luft durch den Raum zu blasen, um eine Siliziumschicht zu erwärmen. Im Grunde wartet man darauf, dass die Luft die Arbeit übernimmt – und in einer Fabrik mit hohem Produktionsvolumen ist diese Verzögerung fatal. Es handelt sich dabei um eine enorme Zeitverschwendung, die alles andere behindert.

Wir haben eine bessere Lösung gefunden. Anstatt Luft zirkulieren zu lassen, nutzen wir präzise IR-Sensoren und -Emitter, um die Wärme durch Strahlung zu übertragen.

Heizer zur Trocknung von MEMS Sensorwafern

Sat, 11 Jul 2026 05:28:19 +0800

Verhindern, dass alles in die Luft fliegt: Sicheres Trocknen von MEMS-Wafern
Die Realität ist folgende: Das Trocknen von MEMS-Sensorwafern nach einer chemischen Reinigung ist im Grunde genommen wie das Spielen mit Feuer. Es handelt sich dabei um Heizelemente, die direkt neben Lösungsmitteldämpfen 위치ieren – und diese Dämpfe sind, um es drastisch auszudrücken, explosionsgefährlich. Man kann einfach keine gewöhnliche Infrarotlampe in diese Umgebung bringen und auf das Beste hoffen.

Intelligente Sensorverpackung Infrarot

Fri, 10 Jul 2026 01:58:26 +0800

Warum wir Konvektionsöfen durch Infrarotheizung bei der Verpackung von Sensoren ersetzen

Im Halbleiterbereich spricht everyone momentan über Kohlenstoffneutralität. Doch seien wir ehrlich: Es ist schwierig, das tatsächlich in der Praxis umzusetzen, ohne die bisherigen Arbeitsabläufe zu ändern. Für uns war der größte Vorteil der Verzicht auf die alten Konvektionsöfen und der Einsatz von Infrarotheizung zur Verpackung von intelligenten Sensoren.

Anstelle dazu, einen riesigen Metallkasten sowie die Luft darin zu erhitzen, verwenden wir kurzwellige Infrarotlampen. Das ist ein ganz anderer Ansatz – die Wärme wird direkt auf das Substrat abgegeben.

Heizer zur Herstellung von Wasserstoffsensoren

Thu, 09 Jul 2026 14:37:30 +0800

Einführung
Stellen Sie sich Folgendes vor: Eine Produktionsstätte, in der die Luft mit brennbaren Reinigungsmitteln erfüllt ist. Das ist genau die Art von Umgebung, in der ein herkömmlicher Heizer Probleme verursachen würde.
Wir haben unsere Infrarotheizlampen entwickelt, um genau dieses Problem zu lösen. Das gesamte Gerät ist fest verschlossen, sodass die Wärmequelle vollständig von der Umgebungsluft getrennt bleibt.
Es handelt sich dabei nicht einfach um einen Heizer – es handelt sich um eine sicherheitsorientierte Anlage, die dafür sorgt, dass keine Brandgefahr entsteht, während gleichzeitig die genau benötigte Wärme für die Herstellung von Sensoren bereitgestellt wird.

Temperatursensor für Wafer Werkzeug

Sun, 31 May 2026 02:46:31 +0800

On the line sitzt der Wafer unter den Halogenlampen und wartet auf den Softbake, der das Photoresist-Profil fixiert. Eine Abweichung von 2°C im Bake-Fenster kann die kritischen Abmessungen um einige Nanometer verschieben, und die Charge verlässt die Track-Anlage mit einem Defekt, der erst nach der Entwicklung sichtbar wird. Das Werkzeug warnt nicht im Voraus. Es liefert nur ein thermisches Ergebnis, und der Prozess bezahlt den Preis dafür.

Wir bauen Temperatursensoren für Wafer-Tools, weil das thermische Budget in der Lithografie nicht optional ist – es ist die Grenze zwischen Ausbeute und Ausschuss. Driftet der Sensor, verfolgt der Regler einen falschen Sollwert. Verzögert sich die Reaktion, sieht der Wafer einen transienten Zustand, den das Rezept nie vorgesehen hat. Präzision, Wiederholbarkeit und Reinraumeignung sind hier keine Schlagworte. Sie sind der Unterschied zwischen Spezifikationen einhalten und mit gedrückten Daumen laufen.