http://warm-ir-factory.com/de/tags/sk15/ Recent content in SK15 on The Warm IR Heating Factory Hugo de Fri, 19 Jun 2026 02:36:55 +0800 http://warm-ir-factory.com/de/posts/sk15-infrared-lamp-for-wafer-oven/ Fri, 19 Jun 2026 02:36:55 +0800 http://warm-ir-factory.com/de/posts/sk15-infrared-lamp-for-wafer-oven/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="SK15 Infrarotlampe für Waferofen"></p> <p>Im Bereich der Lithografie weiß man ja, wie schon eine Abweichung von nur 2°C im Prozessprofil die Homogenität der CD-Struktur beeinträchtigen kann – dadurch müssen die Wafer erneut bearbeitet werden. Man braucht also eine Heizung, deren Temperatur im gesamten Prozesszyklus konstant bleibt. Die SK15-Infrarotlampe für Waferöfen ist genau dafür konzipiert.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist</strong> Die SK15 nutzt einen Kurzwellen-Infrarotstrahler, der darauf ausgelegt ist, Energie direkt in den Photoresistent und die Wafer zu übertragen. Die Reaktionszeit beträgt nur Millisekunden – somit erreicht der Ofen schnell die gewünschte Temperatur und hält sie mit einer Genauigkeit von ±0,1°C bei. Die Kompatibilität mit Reinräumen wird ebenfalls berücksichtigt: Die verwendeten Materialien entsprechen den Anforderungen der Klasse 1–100, es entstehen keine Partikel bei Betriebstemperaturen, und die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg konstant – mit einer Intensitätsabweichung von weniger als 5%. Die Leistungsdichte passt sich an die <a href="https://goldisgood.com">thermischen</a> Anforderungen des Waferofens an. Zudem passt die Abmessung der Lampe in die üblichen Montagesysteme sowie elektrischen Anschlüsse.</p>