Controller für digitale Infrarot Trockner

Fri, 17 Jul 2026 02:22:01 +0800

Ihren Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber halten
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 (ISO 5) betreiben, gibt es so etwas wie „ein bisschen Staub“ nicht. Schon ein winziger Staubkorn, das von einem Heizelement abfällt, kann dazu führen, dass die gesamte Produktionscharge ruiniert wird – das ist ein Albtraum.

Die meisten herkömmlichen Heizlampen eignen sich nicht für solche Anwendungen. Sie neigen dazu, beim Erhitzen und Abkühlen Gase abzugeben oder zu zerfallen. Um das zu verhindern, verwenden wir für unsere Infrarotlampen hochreinen synthetischen Quarz.

Kontaktfreie Wafer Trocknungslampe

Tue, 23 Jun 2026 13:24:41 +0800

Auf dem Lithografieboden kann bereits ein einziger nasser Schritt dazu führen, dass die Qualitätsparameter des Produkts beeinträchtigt werden. Unmittelbar nach der Reinigung sind Wasserspuren sowie überschüssige Feuchtigkeit nicht nur ästhetisch störend – sie begünstigen außerdem das Anhaften von Partikeln und führen zu einer ungleichmäßigen Haftung des Fotolacks. Herkömmliche Trocknungsmethoden bergen das Risiko von Kratzern sowie des Übertrags von Partikeln. Die Folge sind Ausschusswaren sowie ungenaue Abmessungen der Wafer.

Was wirklich wichtig ist
Wir haben den kontaktlosen Wafer-Trockner um eine Kurzwellen-Infrarot-Quelle konstruiert. Dadurch wird die Waferoberfläche schnell und gleichmäßig erhitzt – ohne dass dabei Beschädigungen entstehen. Der entscheidende Parameter ist die thermische Gleichmäßigkeit: ±0,1°C über die gesamte Waferfläche. Das ist kein grober Wert – wir erreichen ihn durch eine geschlossene Steuerungsschleife, die die Verluste an den Rändern erfasst und diese in Echtzeit ausgleicht. Der Trockner ist für Reinräume der Klasse 1 geeignet; in der Trocknungszone gibt es keine beweglichen Teile. Zudem sorgt eine gefilterte Abluftführung dafür, dass die Partikelzahl unter einem bestimmten Limit bleibt. Die Wiederholgenauigkeit bei der Trocknung liegt bei 0,2°C – dadurch bleiben die Abmessungen der Wafer präzise.

Trockner on The Warm IR Heating Factory

Controller für digitale Infrarot Trockner

Kontaktfreie Wafer Trocknungslampe