http://warm-ir-factory.com/fa/tags/%D8%A2%D8%B1%D8%A7%DB%8C%D9%87/ Recent content in آرایه on The Warm IR Heating Factory Hugo fa Mon, 22 Jun 2026 19:27:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/fa/posts/modular-infrared-heating-array/ Mon, 22 Jun 2026 19:27:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/fa/posts/modular-infrared-heating-array/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="مجموعه گرمایشی مادون قرمز ماژولار"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، مراحل پختن نرم و سخت، صرفاً مراحلی ساده نیستند؛ بلکه تعهداتی هستند که باید به آن‌ها پایبند باشیم. تغییر ۲ درجه سانتی‌گراد در دمای فوتورزیست، می‌تواند ابعاد حیاتی قطعات را تغییر دهد. حتی یک ذره کوچک در حین گرم شدن، می‌تواند باعث خرابی ویفرهای ۳۰۰ میلی‌متری شود. ما آرایه‌های گرمایشی ماژولار مادون‌قرمز را طوری طراحی کرده‌ایم که با این واقعیت سازگار باشد.</p> <p><strong>آنچه از نظر فنی اهمیت دارد:</strong> ما از منابع تابش مادون‌قرمز در قالب آرایه‌های ماژولار استفاده می‌کنیم؛ بنابراین چگالی انرژی در هر ناحیه کنترل می‌شود، نه اینکه به طور متوسط در سطح کل صفحه گرم شود. نتیجه آن، یکنواختی دمایی در سطح ویفر در حد ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد است؛ این موضوع با استفاده از ترموکوپل‌ها و سنسورهای تصحیح‌شده برای اندازه‌گیری انتشار گرما، بررسی می‌شود.</p>