http://warm-ir-factory.com/fa/tags/wafer/ Recent content in Wafer on The Warm IR Heating Factory Hugo fa Sun, 31 May 2026 02:46:31 +0800 http://warm-ir-factory.com/fa/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sun, 31 May 2026 02:46:31 +0800 http://warm-ir-factory.com/fa/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="حسگر دما برای ابزار ویفر"></p> <p>روی خط، ویفر زیر لامپ‌های هالوژن قرار گرفته و منتظر همان پخت نرم است که پروفایل فوتورزیست را تثبیت می‌کند. یک تغییر دمای ۲ درجه سانتی‌گراد در این بازه پخت می‌تواند ابعاد بحرانی را چند نانومتر جابجا کند و بچ با نقصی از تراک خارج می‌شود که فقط پس از توسعه ظاهر می‌شود. ابزار هیچ هشداری از قبل نمی‌دهد. فقط نتیجه حرارتی را تحویل می‌دهد و فرآیند هزینه آن را پرداخت می‌کند.<br> ما حسگرهای دما را برای ابزارهای ویفر می‌سازیم چون بودجه حرارتی در لیتوگرافی اختیاری نیست—این خط مرزی بین بازده و ضایعات است. اگر حسگر دچار رانش شود، کنترلر به دنبال نقطه تنظیم اشتباه می‌رود. اگر پاسخ تأخیر داشته باشد، ویفر گذرای دمایی را تجربه می‌کند که دستورپخت هرگز در نظر نگرفته بود. دقت، تکرارپذیری و سازگاری با اتاق تمیز در اینجا صرفاً شعار نیستند. آن‌ها تفاوت بین اجرای در محدوده مشخصات و اجرای با آرزو کردن هستند.</p>