Lampe infrarouge SK15 pour four à wafer

Fri, 19 Jun 2026 02:36:55 +0800

Dans le domaine de la lithographie, on sait bien qu’un léger écart de température de 2 °C peut perturber l’uniformité des disques optiques, ce qui force à réutiliser les wafers. Il est donc nécessaire d’avoir une température stable, cycle après cycle. La lampe infrarouge SK15, conçue pour être utilisée dans les fours à wafers, permet précisément cela.

Ce qui est important en réalité La SK15 utilise un émetteur infrarouge à ondes courtes, dont l’énergie est transmise directement dans le photorésistant et la pile de wafers. La réponse est rapide, en millisecondes ; ainsi, le four atteint rapidement la température désirée et la maintient avec une stabilité de ±0,1 °C tout au long du processus. La compatibilité avec les salles propres n’est pas négligée : les matériaux utilisés respectent les normes Classe 1–100, il n’y a pas de génération de particules à température de fonctionnement, et la répétabilité de la production reste excellente, même après plus de 5 000 heures d’utilisation, avec moins de 5 % de variation d’intensité lumineuse. La densité d’énergie est adaptée aux besoins thermiques du four à wafers, et la lampe s’intègre facilement dans les supports et interfaces électriques standards.

SK15 on The Warm IR Heating Factory

Lampe infrarouge SK15 pour four à wafer